Dans l’usine de fabrication, c’est pendant le cycle SRD que le taux de rendement peut chuter rapidement. Une lampe qui ne fonctionne pas correctement commence à provoquer des problèmes : apparition de marques sur les gaufres de silicium, augmentation du nombre de particules, et donc transformation de matériel de bonne qualité en déchets. Nous avons conçu notre lampe infrarouge SRD pour éliminer cette variabilité.
Ce qui est important au niveau technique La lampe utilise des émetteurs infrarouges à ondes courtes, avec des optiques en quartz. L’énergie est ainsi transmise directement durant les phases de rinçage et de séchage. La uniformité thermique dans la chambre reste inférieure ou égale à ±0,1°C, ce qui permet à chaque gaufre de recevoir la même quantité d’énergie. Les changements de paramètres se font en moins de 200 ms, ce qui assure un contrôle précis sans dépassements.
La lampe est compatible avec toutes les classes de salle propres, de la classe 1 à la classe 100. Le boîtier est hermétique, et le chemin parcouru par les émetteurs est conçu de manière à éviter toute émission de particules. La puissance de sortie reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec une déviation d’intensité inférieure à 5%.
Pourquoi elle fonctionne bien dans le processus SRD Dans le processus SRD, il s’agit de garantir un séchage uniforme, sans endommager le photo-résistant ni altérer les motifs dessinés sur les gaufres de silicium. La vitesse de réaction de la lampe permet de maintenir le profil thermique dans les limites prévues, ce qui permet au photo-résistant de rester intact après les traitements de cuisson.
Cela permet d’obtenir un séchage fiable, une densité de défauts réduite, et moins de travaux de retraitement. La consommation d’énergie diminue, car les émetteurs atteignent rapidement leur point de fonctionnement optimal, sans générer de chaleur inutile dans la chambre de traitement. La disponibilité de la lampe s’améliore également, car son bloc de commande est conçu pour fonctionner 24/7, et la lampe elle-même est conçue pour avoir une longue durée de vie.
Les détails qui permettent à la lampe de fonctionner correctement La lampe convient aux emplacements standards SRD, mais son intégration doit correspondre à la géométrie de votre équipement, au flux d’air, ainsi qu’à l’émissivité des parois de la chambre. Vérifiez bien l’interface de montage et la charge thermique exercée sur le système de refroidissement ; si le refroidissement n’est pas adéquat, l’uniformité thermique sera compromise.
Il est conseillé de réaliser une période de rodage et de qualification avant d’utiliser la lampe, afin d’ajuster ses paramètres en fonction des caractéristiques de vos gaufres de silicium et des conditions de production.