Ngăn chặn việc các bộ phận trong máy nóng quá mức
Hầu hết các bộ phận tạo nhiệt đều hoạt động giống như bóng đèn – chúng tỏa nhiệt ra mọi hướng. Trong một xưởng sản xuất bán dẫn chật hẹp, đây quả là một vấn đề nghiêm trọng. Khi ánh sáng từ các bộ phận này chiếu vào thân máy, các bức tường bên trong sẽ bị nóng lên đáng kể.
Vấn đề không chỉ nằm ở việc con người có thể bị bỏng do nhiệt độ cao. Nhiệt lượng dư thừa còn ảnh hưởng đến khả năng ổn định nhiệt độ của các wafer. Điều này gây ra nhiều rắc rối.
Đưa nhiệt đến nơi cần thiết
Giải pháp là sử dụng tia hồng ngoại có hướng. Thay vì chỉ sử dụng ống thạch anh thông thường, chúng ta sử dụng các tấm phản xạ và lớp phủ đặc biệt để điều hướng nhiệt lượng. Hãy tưởng tượng đó như một chiếc đèn pin thay vì một ngọn nến. Bằng cách tập trung năng lượng vào vị trí cần thiết, chúng ta có thể tránh được việc lãng phí nhiệt lượng. Như vậy, các bức tường bên trong sẽ vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Rất đơn giản phải không?
Nhiệt độ tốt hơn, áp lực ít hơn
Vì nhiệt lượng được tập trung vào một điểm cụ thể, bạn có thể tăng nhiệt độ của vật liệu được xử lý mà không cần làm cho bên trong máy trở thành một “lò nướng”. Bạn sẽ có được sự chênh lệch nhiệt độ nhỏ hơn. Và điều tuyệt vời nhất là bạn không cần phải thiết kế các quạt làm mát phức tạp hay hệ thống làm mát bằng chất lỏng để tránh nguy cơ tai nạn.
Thực tế
Đây không phải là phép màu gì cả. Vì bạn đang tập trung toàn bộ năng lượng vào một điểm cụ thể, nên bề mặt của bộ phận tạo nhiệt sẽ nóng hơn so với ống thạch anh thông thường. Bạn cần đảm bảo rằng các dây điện và khung đỡ có thể chịu được nhiệt độ này.
Ngoài ra, việc định vị các tấm phản xạ cũng rất quan trọng. Nếu chúng lệch vài độ, điểm nóng sẽ thay đổi. Kết quả là nhiệt độ trên bề mặt wafer sẽ không đồng đều. Lời khuyên của tôi là hãy kiểm tra lại vị trí của các tấm phản xạ mỗi quarter một lần. Nếu chúng lệch vị trí, bộ phận tạo nhiệt sẽ trở thành một thiết bị tạo nhiệt không hiệu quả. Hãy giữ cho các bộ phận quang học luôn sạch sẽ; nếu chúng bẩn, chùm tia sẽ bị lệch hướng.