Trong một nhà máy sản xuất có quy mô lớn, nhiệt độ của wafer không phải là một “thông số” mà bạn điều chỉnh một cách tùy ý—nó là một phần cố định trong phương trình năng suất. Sự trôi dạt nửa độ trong quá trình xử lý photoresist hoặc sấy wafer có thể xuất hiện sau đó dưới dạng không đồng nhất về độ dày và khuyết tật hình ảnh, và bạn chỉ thấy điều đó tại bài kiểm tra điện, khi sản phẩm phế liệu đã trở nên đắt đỏ. Chúng tôi đã chế tạo các bộ gia nhiệt hồng ngoại của mình để loại bỏ sự biến đổi đó ở cấp độ quy trình.
Điều gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Hệ thống hồng ngoại sóng ngắn của chúng tôi giữ cho độ đồng nhất nhiệt ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên bề mặt chuck, và chúng ổn định ở một điểm mới trong vòng dưới 2 giây. Các phần tử gia nhiệt là quartz-halogen, với điều khiển phổ chặt chẽ, vì vậy năng lượng được truyền thẳng vào photoresist và nền mà không làm nóng các thiết bị xung quanh. Điều khiển là vòng kín, và cảm biến được hiệu chỉnh và lập bản đồ trực tiếp với công thức quy trình—nướng mềm, nướng cứng và chữa—vì vậy độ lặp lại nhiệt độ có thể truy nguyên từ lô này sang lô khác. Phần cứng sẵn sàng cho phòng sạch, với bề mặt tương thích với môi trường Class 1–100, và việc phát sinh hạt giữ ở mức không trong quá trình hoạt động ổn định.
Tại sao nó hoạt động trong sản xuất
Trong các tế bào lithography, nướng mềm là nơi bạn thiết lập độ nhớt của photoresist và loại bỏ dung môi. Năng lượng quá ít và bạn sẽ có viền cạnh; quá nhiều và việc kiểm soát kích thước quan trọng của bạn bắt đầu trôi dạt. Mô-đun hồng ngoại của chúng tôi đạt được nhiệt độ đúng nơi mà công thức yêu cầu, điều này giảm thiểu việc làm lại và thắt chặt tính đồng nhất về chiều rộng đường. Nhiệt độ gia nhiệt nhanh và đồng nhất cũng quan trọng sau khi làm sạch. Khi bạn sấy wafer, bạn loại bỏ độ ẩm mà không gây sốc nhiệt—không có cầu vi mô, không có dấu vết nước. Kết quả là ít sự biến động, ngân sách nhiệt ổn định và thời gian hoạt động có thể đáp ứng sản xuất 24/7. Và vì năng lượng được cung cấp trực tiếp và chỉ khi công thức yêu cầu, bạn không lãng phí năng lượng.
Những gì bạn cần làm đúng từ đầu
Việc lắp đặt phụ thuộc vào việc khớp kích thước và giao diện của bộ gia nhiệt với đường hoặc công cụ phủ—loại kết nối, khoảng cách cơ học, và toàn bộ sự phù hợp. Hệ thống hoạt động tốt nhất khi buồng và chuck khớp với độ phát xạ hồng ngoại và khối lượng nhiệt của quy trình; nếu không, sự hội tụ của điểm cài đặt có thể trôi dạt. Lập kế hoạch ngân sách nhiệt cho toàn bộ chuỗi—làm nóng trước, giữ, tăng tốc—nếu không bạn sẽ có nguy cơ làm bỏng photoresist. Khi được tích hợp đúng cách, thiết bị hoạt động với bảo trì tối thiểu và cung cấp đầu ra đồng nhất trong hơn 5,000 giờ.