لیتھوگرافی کے عمل میں، نرم بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں ہونے والی تغیرات، ایک خاموش قسم کا خطرہ ہے؛ اس کا اثر تب ہی ظاہر ہوتا ہے جب CD-SEM سے شکایات شروع ہو جاتی ہیں۔ ویفر پر 0.5°C کا فرق، کریٹیکل ڈائمینشن کنٹرول کو متأثر کرتا ہے۔ ہم نے اپنے انفراریڈ لیمپوں کو ایسے ڈیزائن کیا ہے کہ یہ اس قسم کے فرقوں کو کم کر سکیں۔
کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں، جن میں تیز ردِعمل والے کوارٹز عناصر ہوتے ہیں؛ اس طرح حرارت تیزی سے پیدا ہوتی ہے اور صرف مطلوبہ جگہ پر ہی رہتی ہے۔ حرارتی تاخیر بہت کم ہے۔ فوٹوریزسٹ کے نرم بیکنگ کے دوران، ہم پروسیس زون میں درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتے ہیں، اور بیچ سے بیچ میں یہ قیمت ±0.5°C کے اندر ہی رہتی ہے۔
آؤٹ پٹ کو فوٹوریزسٹ کے حرارتی معیارات کے مطابق ہی رکھا جاتا ہے؛ کوئی زیادتی یا کمی نہیں ہوتی۔ ہم ذرات کی پیداوار کو صفر پر رکھتے ہیں۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے کلین روموں میں استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس کا حرارتی پروفائل بین الاقوامی سیمی کنڈکٹر آلات کے معیارات کے مطابق ہے۔ یہ ایک ایسا حل ہے جو پہلے ہی فیکٹریوں میں استعمال کیا جا چکا ہے۔
پروڈکشن میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
اس سے کریٹیکل ڈائمینشن کی سستحرکیت کم ہو جاتی ہے، جس کا مطلب یہ ہے کہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ تیز حرارتی استحکام کی وجہ سے بیکنگ کا عمل جلدی مکمل ہو جاتا ہے، اور اس طرح پروڈکشن کی رفتار بہتر ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ حرارت صرف مطلوبہ جگہ پر ہی پہنچتی ہے، نہ کہ کمرے کی دیواروں کو گرم کرنے کے لئے۔
عملی تفصیلات:
نصب کرنے کے لئے، لیمپ کے سائز اور انٹرفیس کو آپ کے موجودہ ٹریک یا کوٹر/بیکنگ ماڈیول سے ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔ تھوڑی سی میکانی اور الیکٹریکل انضمام کی ضرورت ہے، لیکن یہ کوئی بڑی بات نہیں ہے۔
کمیشننگ کا عمل:
کمیشننگ کے دوران، حرارتی پروفائل کو فوٹوریزسٹ اور سبسٹریٹ کے معیارات کے مطابق ہم آہنگ کیا جاتا ہے۔ ایک بار کیلیبریشن ہو جانے کے بعد، پروسیس کا پروفائل مستقل رہتا ہے۔