لیتھوگرافی کے عمل میں، نرم بیکنگ یا سخت بیکنگ کے دوران آدھے ڈگری سیلسیس کا فرق کوئی چھوٹا فرق نہیں ہے؛ بلکہ یہ پیداواری صلاحیت میں کمی کا سبب بنتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات تبدیل ہو جاتی ہیں، اہم ابعاد میں تغیر پیدا ہو جاتا ہے، اور لائنیں درست راستے پر نہیں چل پاتیں۔ کوٹر/ڈیولپر سسٹم میں، حرارتی عمل ہی وہ عنصر ہے جو استقامت کو برقرار رکھتا یا تباہ کرتا ہے۔
انفراریڈ حرارت دینے کی درستگی: سب-ملی میٹر سطح پر یکسانیت اور استقامت
ہم نے کوٹر/ڈیولپر سسٹم میں استعمال ہونے والے انفراریڈ ہیٹر کو شارٹ-ویو NIR ڈیزائن کے ذریعے تیار کیا ہے؛ اس کے نتیجے میں ویفر کی سطح پر سب-ملی میٹر سطح پر یکسانیت حاصل ہوتی ہے، جس سے ویفر کے درجہ حرارت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ استقامت، بند-لوپ کیلیبریشن اور مستحکم اخراجی صلاحیتوں کی بدولت حاصل ہوتی ہے؛ اس طرح ہر بار، ہر شفٹ میں نتائج یکساں رہتے ہیں۔ یہاں مقصد زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت حاصل کرنا نہیں، بلکہ ریزسٹ کے لئے درکار حرارتی ماحول کو کنٹرول کرنا ہے۔
یہ سیمی کنڈکٹر پروسیس فلو کے لئے کیوں مناسب ہے؟
کلاس 1–100 کے کلین روم میں، ذرات کی تخلیق، درجہ حرارت کی غلطیوں کے برابر ہی خطرناک ہے۔ ہم نے ایسے ہیٹر ڈیزائن اور مواد منتخب کئے جو ذرات کی تعداد کو کم کرتے ہیں، اور کوئی ایسا عمل نہیں ہے جس سے ویفر آلودہ ہو سکے۔ یہ سسٹم، نرم بیکنگ اور سخت بیکنگ دونوں صورتوں میں فوٹوریزسٹ کی درستگی کو برقرار رکھتا ہے، اور رال کی چپچپاہٹ، حل کی خارجیت، اور چپکنے کی صلاحیت کو بھی مستحکم رکھتا ہے۔ اس استحکام کی بدولت، پروسیسنگ کے وقت کم ہو جاتا ہے، اور فضول مال کی مقدار بھی کم ہو جاتی ہے۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے
چونکہ انفراریڈ حرارت براہ راست منتقل ہوتی ہے، اس لئے حرارت پیدا کرنے کا عمل تیز ہوتا ہے، اور کنٹرول کرنے کے لئے کم سے کم توانائی کی ضرورت ہوتی ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے، اور اس کی دیکھ بھال کے لئے کم وقت درکار ہے، اور متبادل پرزوں کی ضرورت بھی کم ہے۔
عملی استعمال سے متعلق نوٹس
زیادہ تر کوٹر/ڈیولپر پلیٹ فارموں پر اس کی تنصیب آسان ہے، لیکن حرارتی رابطے بہت اہم ہیں۔ ہیٹر کو موجودہ پلیٹ سے مناسب طریقے سے جوڑنا ضروری ہے، اور رابطے والی سطح کی اخراجی صلاحیت کی بھی جانچ کرنی ضروری ہے؛ ورنہ درجہ حرارت میں تغیر پیدا ہو سکتا ہے۔ PID کو ایڈجسٹ کرنے اور اپنے ریزسٹ سٹیک کے لئے یکسانیت کی تصدیق کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہے۔
ایک پابندی یہ ہے کہ انفراریڈ کی شدت کو سبسٹریٹ اور کیریئر کی حرارتی خصوصیات کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ بہت پتلی فلمیں یا خاص قسم کے سبسٹریٹس کے لئے، مناسب پاور پروفائل کی ضرورت ہے تاکہ زیادہ حرارت سے بچا جا سکے۔