Üretim alanında, foto dirençlerin ısıtılma işleminin başarısı tek bir faktöre bağlıdır: dolabın sıcaklığı. 0,5°C’lik bir sıcaklık değişimi bile kritik boyutları etkileyebilir. Soğuk noktalar ise foto dirençlerin işlevsiz hale gelmesine neden olur ve bu durumda yüzeylerde lekeler oluşur. Biz de bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için özel bir ısıtıcı tasarladık.
İç yapıda önemli olanlar
Kuarzla izole edilmiş bir odanın içinde orta dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar kullanılıyor. Bu yöntemle hızlı ve etkili ısı transferi sağlanır; ayrıca termal kütle oldukça düşüktür. Dolabın içindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C arasında kalır ve parti bazında tekrarlanabilirlik ise ±0,05°C civarındadır. Kontrol mekanizması 24 bit çözünürlüklü PID kontrolüdür ve kalibrasyonu takip edilebilir sensörlerle yapılır.
Tüm temas yüzeyleri 316L malzemeden üretilmiştir ve her bir contanın solventlere ve asitlere karşı dayanıklı olması sağlanmıştır. Isıtıcı tasarımı temiz oda standartlarına uygundur ve ISO 1–100 sınıflarına uyum sağlar. Parçacık oluşumu, laminar akış tasarımı ve egzozda bulunan HEPA tipi filtreler sayesinde en aza indirgenir. Güç yoğunluğu dolabın hacmine göre ayarlanır; 120 V ile 480 V arasında değişen voltaj seçenekleri, CE normlarına uygun konektörler ve toprak kaçağı koruması bulunur.
Litografide neden işe yarar?
Litografi sürecinde dolap, foto dirençlerin ısıl işlemleri için gerekli olan tam sıcaklığı sağlar. Cilt oluşumuna neden olabilecek sıcak noktalar veya solventlerin birikmesine neden olabilecek soğuk bölgeler yoktur. Böylece tutarlı bir film kalınlığı elde edilir, yeniden işlemler azalır ve CD kontrolü daha stabil hale gelir.
Enerji tüketimi, ısıtıcıların ihtiyaç duyulduğunda çalışması sayesinde düşer; bekleme modundaki enerji kaybı %1’in altındadır. Cihaz 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; MTBF değeri 50.000 saatin üzerindedir. Servis erişimi ön panel üzerinden sağlandığı için kesintiler en aza indirgenir.
Pratik detaylar
Isıtıcının özel ve stabil bir güç devresine ihtiyacı vardır. Eğer agresif kimyasallar kullanılıyorsa, temiz ve kuru azot gazı kullanılmalıdır; aksi takdirde yoğuşma meydana gelebilir ve sıcaklık değişiklikleri artabilir. Dolabın boyutları ve kapak contaları, cihazın yerleştirileceği alana uygun olmalıdır. Kurulum sırasında termal haritalama işlemi yapılmalıdır. Bu sayede kontrol noktaları belirlenir ve düzenin homojenliği teyit edilir.