Инфракрасный нагреватель для пластин после чистки
На этапе послеочистки можно выполнять все необходимые действия, вплоть до процедуры сушки, но при этом все равно может возникнуть проблема с...
Сушилка для очистки подложек
Out on the fab floor, you watch a wafer carrier come out of the cleaning bath, only to watch the drying step fight you. You know the drill—residual...