На этапе литографии незначительные колебания температуры во время процесса отжига фотопленки могут привести к снижению качества продукции. Такие колебания едва заметны, пока оборудование CD-SEM не начнет подавать сигналы о проблемах. Даже незначительное изменение температуры на уровне 0,5°C может привести к нарушению контроля за критическими размерами деталей. Мы разработали инфракрасные лампы для компенсации таких колебаний.
Что важно в процессе работы Мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного света с быстродействующими кварцевыми элементами. Это позволяет быстро нагревать поверхность пластины и сохранять стабильную температуру. Задержка нагрева минимальна. При отжиге фотопленки мы обеспечиваем однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а точность регулировки температуры составляет ±0,5°C от партии к партии.
Выходная мощность лампы подбирается так, чтобы не было ни перегрева, ни недостаточного нагрева. Кроме того, мы минимизируем образование частиц при нагреве. Лампы можно использовать в чистых комнатах класса 1–100. Тепловой профиль соответствует международным стандартам оборудования для производства полупроводников. Это решение уже проверено на практике.
Почему это важно в производстве Стабильность критических размеров деталей гарантирует снижение количества бракованных изделий. Быстрое нагревание позволяет сократить время процесса без ущерба для качества. Энергопотребление снижается, поскольку тепло направляется туда, где это необходимо, а не на нагрев стенок камеры.
Надежность оборудования гарантирована — устройства могут работать более 5 000 часов с потерей производительности менее 5%. Это позволяет работать круглосуточно и сокращать количество неплановых остановок.
Практические аспекты Установка лампы сводится к соответствию ее размеров и интерфейса с существующей системой нагрева или модулем для нанесения фотопленки. Требуется некоторая механическая и электрическая интеграция, но это не представляет сложности.
Настройка оборудования занимает немного времени — достаточно настроить параметры нагрева в соответствии с характеристиками фотопленки и подложки. После настройки процесс будет работать стабильно.