На этапе литографии отклонение температуры в размере полуградуса Цельсия при процессах мягкой или жесткой обработки не является незначительным — это приводит к снижению качества продукции. Профили фоторезиста изменяются, критические размеры увеличиваются, и процесс нанесения покрытия становится менее точным. На этапах нанесения и отжига фоторезиста именно тепловые параметры определяют уровень повторяемости процесса.
Точность инфракрасного нагрева: однородность и повторяемость на уровне субмиллиметров Мы разработали инфракрасные нагреватели для процессов нанесения и отжига фоторезиста с использованием длинноволнового инфракрасного излучения с контролируемым распределением тепла. Благодаря этому температурное поле на поверхности пластины остается однородным на уровне субмиллиметров, что позволяет контролировать температуру с высокой точностью. Повторяемость процесса обеспечивается за счет использования замкнутых систем калибровки и стабильного контроля эмиссивности поверхностей. Таким образом, каждый процесс нанесения фоторезиста проходит одинаково, независимо от серии или смены работы. Речь идет не о достижении максимальной температуры, а о контроле всего теплового режима, под которым находится фоторезист.
Почему это подходит для производства полупроводников В чистых помещениях класса 1–100 появление частиц имеет такое же серьезное значение, как и ошибки температуры. Мы выбрали такую конструкцию нагревателей и материалы, которые минимизируют количество частиц, а также предотвращают выделение газов, способных загрязнить пластину. Система обеспечивает точность нагрева фоторезиста как при мягкой, так и при жесткой обработке, стабилизируя вязкость растворителя и качество его удаления, а также улучшая адгезию фоторезиста к поверхности пластины. Эта стабильность сокращает время на настройку оборудования и уменьшает количество бракованных изделий.
Энергопотребление снижается благодаря тому, что инфракрасное излучение передает тепло напрямую — процесс нагрева происходит быстро, и не требуется значительных усилий для достижения нужной температуры. Надежность оборудования обеспечивается за счет возможности его работы 24/7, с минимальными перерывами на техническое обслуживание и предсказуемыми интервалами замены комплектующих.
Практические рекомендации по установке Установка происходит легко на большинстве устройств для нанесения и отжига фоторезиста, но важно учитывать тепловые характеристики поверхностей. Необходимо соответствовать параметрам крепления нагревателя к существующей платформе и проверять эмиссивность контактных поверхностей. В противном случае температура на поверхности пластины может отклоняться. Рекомендуется провести короткие испытательные циклы для настройки параметров PID и проверки однородности температуры на поверхности пластины.
Одним из ограничений является необходимость соответствия интенсивности инфракрасного излучения тепловым характеристикам подложки и носителя. Для очень тонких пленок или необычных подложек может потребоваться специальная настройка мощности нагревателя, чтобы избежать чрезмерного нагрева.