Grzałka podczerwieni do płytek po czyszczeniu
W tym etapie można zrobić wszystko prawidłowo, aż po proces suszenia płytki krzemowej – mimo to może dojść do strat wydajności, jeśli płytka wysycha...
Suszarka do czyszczenia nośników waferów
Out on the fab floor, you watch a wafer carrier come out of the cleaning bath, only to watch the drying step fight you. You know the drill—residual...