Op de lithografieafdeling is een lichte afwijking in de temperatuur tijdens het verhitten van de schijf de oorzaak van verminderde productiekwaliteit. Deze afwijkingen zijn pas zichtbaar wanneer het CD-SEM-apparaat problemen begint te vertonen. Een afwijking van 0,5°C kan al voldoende zijn om de controle over de cruciale afmetingen van de schijf te beïnvloeden. We hebben onze infraroodlampen zo ontworpen dat deze deze afwijkingen zo veel mogelijk kunnen beperken.
Wat belangrijk is We gebruiken infraroodemitters met snelle reactietijden en kwartscomponenten. Hierdoor wordt het verhitten snel uitgevoerd en blijft de warmte beperkt tot het punt waar het nodig is. Er is nauwelijks thermisch vertragingseffect. Voor het verhitten van de fotorezerve houden we de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C over de hele proceszone. De herhalbaarheid van de instellingen ligt binnen ±0,5°C per batch.
De uitgangstemperatuur wordt precies aangepast aan de behoeften van de fotoreserve: er is geen overdreven verhitting en ook geen onvoldoende verhitting. Bovendien wordt de generatie van deeltjes tot nul gereduceerd. De lamp kan worden gebruikt in schoonruimtes van klasse 1–100. Het thermische profiel voldoet aan internationale standaarden voor halfgeleiderapparatuur. Het is een eenvoudige oplossing die al in praktijk is getest.
Waarom het nuttig is in de productie Je krijgt stabiele resultaten wat betreft de cruciale afmetingen van de schijf. Dit betekent minder gerepareerde producten. Door een snelle warmteoverdracht kan de verhittingscyclus worden verkort, zonder dat dit invloed heeft op de kwaliteit. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte alleen wordt gebruikt op de plekken waar het nodig is, en niet om de wanden van de kamer te verwarmen.
De betrouwbaarheid van de apparaten is zeer hoog: ze werken meer dan 5.000 uur zonder dat de output met meer dan 5% daalt. Hierdoor kan de productielijn 24/7 draaien, zonder onverwachte onderbrekingen.
Praktische details De installatie vereist dat de lamp past bij de bestaande apparatuur. Er is wat mechanische en elektrische integratie nodig, maar dit is geen groot probleem. Voor de inbedrijfstelling moet het thermische profiel worden aangepast aan de behoeften van de fotoreserve en het substraat. Eenmaal gekalibreerd, blijft het procesprofiel stabiel.