Op de productieafdeling wordt het repareren van gereedschap niet gepland. Het gaat erom dat de productielijn zo goed mogelijk blijft functioneren. Wanneer een verhittingselement, een anneer-module of een heater voor het verhitten van de wafer kapotgaat, is het belangrijk dat er snel warmte beschikbaar komt, die zich snel verspreidt en een constante temperatuur behoudt – zonder dat er deeltjes vrijkomen.
Wat echt belangrijk is We maken kortegolflengte-infraroodverwarmers voor het repareren van apparatuur. Deze verwarmers zijn zo ontworpen dat ze snel op de gewenste temperatuur komen en dat er een constante temperatuur over het hele oppervlak van de wafer wordt behouden. De geometrie van de kwartsemitter en de reflectoren zorgen ervoor dat er geen hete plekken ontstaan. De gesloten-lusbesturing zorgt ervoor dat de nauwkeurigheid binnen ±0,1°C blijft. Ook is de constructie zo ontworpen dat er nauwelijks giftige stoffen vrijkomen. Bovendien wordt er gebruik gemaakt van een proces dat voorkomt dat er deeltjes in de fotoresist terechtkomen. Hierdoor blijft de temperatuur stabiel, zodat de kwaliteit van de productie niet wordt beïnvloed.
Waarom dit werkt in een reparatieafdeling In een reparatieafdeling is het belangrijk om de productie zo snel mogelijk hervat te kunnen. Snelle stabilisatie betekent minder tijd nodig om de apparatuur weer in gebruik te nemen. Bovendien leidt consistentie tot minder herwerkingswerk en afval. Er wordt ook energie bespaard, omdat de IR-verwarmers rechtstreeks het doeloppervlak verwarmen, in plaats van de omringende hardware. De levensduur van de emitters is langer, waardoor de vervangingsfrequentie lager is. Het ontwerp van de verwarmers is zo dat deze voldoen aan de specificaties van de oorspronkelijke apparatuur. Hierdoor kan de verwarmer worden vervangen zonder dat de hele apparatuur opnieuw moet worden getest. Dit zorgt ervoor dat de werking van de apparatuur behouden blijft.
De praktische details die je niet kunt negeren Voor de installatie moet de mechanische structuur, de bevestigingspunten en de positie van de sensoren overeenkomen met die van het originele apparaat. Als de alignering niet correct is, zal de uniformiteit van de temperatuur slecht zijn. Controleer altijd de spanning, het type connector en de afstand tot de sensoren, volgens de specificaties van het apparaat. In omgevingen met hoge luchtvochtigheid moet de apparatuur eerst wat tijd krijgen om op temperatuur te komen, zodat de oppervlaktetemperatuur stabiel wordt en er geen condensvorming optreedt.