دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن فر باشید؛ چرا که استفاده از حرارت مادون قرمز در فرآیندهای پردازش ویفرها، راهحل بهتری است.
اگر هنوز از هوای گرم برای پردازش نیمههادیها استفاده میکنید، در واقع در حال منتظر ماندن برای گرم شدن اتاق هستید تا بتوانید کار را شروع کنید. این روش بسیار آهسته است.
هوای گرم، روشی ناکارآمد است؛ باید ابتدا هوا را گرم کرد، سپس هوا ویفر را گرم میکند. این روش دارای تأخیرهای زیادی است؛ شما مجبورید منتظر بمانید تا دما بالا برود.
مادون قرمز، این وضعیت را تغییر میدهد.
به جای گرم کردن هوای اطراف ویفر، مادون قرمز از تابش الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح ویفر استفاده میکند. این روش مانند گرم کردن دستها با گرم کردن کل اتاق، در حالی که میتوان دستها را مستقیماً در مقابل شومینه قرار داد.
مشکل «انتظار»
همه ما با مشکل اینترزای ترمیک سروکار داشتهایم؛ یعنی زمانی که دستگاه در حال گرم شدن است، اما هیچ اتفاقی رخ نمیدهد.
با استفاده از سنسورها و فرستندههای مادون قرمز، میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید. نه دقیقهها، بلکه ثانیهها! این کار مهمترین مانع در خط تولید را از بین میبرد و به شما اجازه میدهد کار را سریعتر انجام دهید.
فضای کمتر، کنترل بیشتر
یک مزیت دیگر این روش، فضای کمی است که نیاز دارد. هوای گرم نیاز به پمپها، لولهها و فضای زیادی دارد؛ اما لامپهای مادون قرمز بسیار کوچک هستند. میتوان آنها را مستقیماً در کنار سطح ویفر قرار داد، که باعث افزایش چگالی حرارتی میشود.
اما مراقب باشید: نمیتوانید این لامپها را به سادگی نصب کنید و فراموششان کنید. لامپهای مادون قرمز با توان بالا، حرارت زیادی تولید میکنند؛ اگر سیستم خنککننده شما کافی نباشد، سنسورها ممکن است دچار اختلال شوند، و شما مجبور خواهید بود همه چیز را دوباره تنظیم کنید.
انجام کارها بهتر
در نهایت، استفاده از مادون قرمز به معنای افزایش سرعت کار است. دیگر نیازی نیست با جریان هوا مبارزه کنید؛ میتوانید از انرژیای استفاده کنید که بلافاصله پاسخ میدهد. زمان کمتری صرف انتظار برای استabil شدن دستگاه میشود، و زمان بیشتری برای پردازش ویفرها صرف میشود.
این یک تعویض ساده است: شما از روش آهسته و ناپایدار گرمایش هوا، به روشی فوری و قابل کنترل روی میآورید. و برنامه کاری شما از این کار سپاسگزار خواهد بود.