
بهرهبرداری حداکثری از گرمای تولید شده برای ساخت نانولولههای کربنی
اگر در حال تولید نانولولههای کربنی روی ویفرها هستید، قطعاً با مشکلات مربوط به دما آشنا هستید. شما به دمای بسیار بالایی نیاز دارید، اما این دما باید به طور دقیق کنترل شود. هیچ چیز بدتر از هدر رفتن انرژی وجود ندارد؛ یا حتی بدتر از آن، اینکه انرژی به جای رسیدن به ویفر، به بدنه دستگاه برسد.
به همین دلیل، از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
شاید این موضوع عجیب به نظر برسد، اما در واقع این یک مسئله فیزیکی ساده است. اکثر بازتابندههای معمولی، انرژی بسیار زیادی را جذب میکنند. اما طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز بسیار مؤثر است. با استفاده از طلا برای پوشاندن دیوارههای محفظه، میتوانیم فوتونها را به سمت هدف بازتاب دهیم.
نتیجه چیست؟ شما یک منطقه گرمایی متمرکز خواهید داشت. دیگر نیازی نیست توان دستگاه را بالا ببرید تا کار انجام شود؛ فقط باید از هدر رفتن گرمای موجود جلوگیری کنید.
مبارزه با «نقاط سرد»
در فرآیند تولید نانولولههای کربنی، یکپارچگی دما بسیار مهم است. اگر تفاوت دما مناسب نباشد، نانولولهها به صورت نامتقارن رشد خواهند کرد. این وضعیت واقعاً وحشتناک است.
بازتابندههای طلایی به کاهش این تفاوتها کمک میکنند. اما نکته مهم این است که باید هندسه بازتابندهها مناسب باشد. اگر خمیدگی بازتابنده با نقطه کانونی لامپ مطابقت نداشته باشد، لبههای ویفر خواهند سوخت. همه چیز به تعادل بستگی دارد.
معایب (چون هیچ چیز کامل نیست)
البته، یک مشکل وجود دارد: طلا نرم است! این ماده میتواند خراش بخورد؛ همچنین، اگر محفظه کثیف شود، طلا میتواند اکسید شود. لطفاً، برای حفاظت از این سطوح، از مواد تمیزکننده خشن استفاده نکنید. یک خراش عمیق نه تنها ظاهر زشتی ایجاد میکند، بلکه الگوی تشعشعات را نیز تغییر میدهد.
یک نکته آخر: اگر قصد استفاده از این سیستم را دارید، باید سرعت افزایش دما را تحت کنترل داشته باشید. از آنجایی که طلا باعث میشود انتقال گرما بسیار کارآمدتر شود، پروفایلهای حرارتی قدیمی شما احتمالاً خیلی داغ خواهند شد. بنابراین، بهتر است از کنترلکنندههای PID استفاده کنید و تنظیمات توان دستگاه را دوباره تنظیم کنید. در غیر این صورت، ممکن است سابسترایت شما خراب شود.