در فرآیند لیتوگرافی، نوسانات دمایی خفیف، عاملی است که منجر به کاهش کیفیت محصول میشود؛ این مشکل تا زمانی که دستگاههای CD-SEM شروع به ارائه هشدار نکنند، قابل مشاهده نیست. اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در سطح ویفر، باعث میشود کنترل ابعاد حیاتی محصول دچار اختلال شود. ما لامپهای نور مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از منبع اصلی خنثی کنند.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از فرستندههای نور مادون قرمز با عناصر کوارتزی با پاسخگویی سریع استفاده میکنیم؛ بنابراین گرمایش سریع اتفاق میافتد و در یک ناحیه مشخص باقی میماند. تأخیر حرارتی نیز بسیار کم است. برای گرم کردن رزیست فوتوگرافیک، ما یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم؛ همچنین تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد بین دفعات مختلف باقی میماند.
خروجی لامپ نیز متناسب با نیازهای حرارتی رزیست فوتوگرافیک تنظیم شده است؛ بنابراین هیچ اختلالی در فرآیند رخ نمیدهد. همچنین، تولید ذرات نیز صفر است. سر لامپ نیز مناسب اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، پروفایل حرارتی آن نیز مطابق با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی است. این روش، روشی است که در کارخانههای تولید نیمههادی مورد استفاده قرار گرفته است.
چرا این روش در تولید مؤثر است؟
عملکرد پایدار ابعاد حیاتی محصول، یکی از مزایای این روش است؛ این امر منجر به کاهش تعداد محصولاتی میشود که نیاز به تعمیر دارند. تنظیم سریع دما، باعث کاهش زمان لازم برای گرم کردن میشود، بدون اینکه کیفیت محصول تحت تأثیر قرار بگیرد؛ بنابراین بهرهوری نیز افزایش مییابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما فقط در جایی مورد استفاده قرار میگیرد که لازم است، و نه در دیوارههای محفظه.
قابلیت اطمینان این روش نیز بسیار بالاست؛ دستگاهها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کیفیت خروجی آنها کمتر از ۵٪ کاهش یابد؛ بنابراین میتوانید خط تولید را ۲۴ ساعته فعال نگه دارید و از مداخلات غیرمنتظره جلوگیری کنید.
جزئیات عملیاتی
نصب لامپ، به معنای سازگار کردن ابعاد و رابط لامپ با سیستمهای موجود در کارخانه است. کمی کار مکانیکی و الکتریکی لازم است؛ اما این کار چندان پیچیده نیست. برای راهاندازی دستگاه، نیاز به تنظیمات کوتاهی است تا پروفایل حرارتی متناسب با رزیست فوتوگرافیک و سطح مورد استفاده باشد. پس از تنظیم، پروفایل حرارتی ثابت باقی میماند.