Calentador por infrarrojos para obleas después del lavado
En la fase de post-limpieza, se puede hacer todo lo necesario, incluyendo el secado del wafer. Pero aún así, puede haber problemas si el wafer se...
Secador de limpieza de portadores de obleas
En la planta, observas cómo un portawafers sale del baño de limpieza, solo para ver cómo el paso de secado se vuelve un desafío. Conoces bien el...