Una forma mejor de secar las obleas MEMS: Por qué pasamos al uso de la radiación infrarroja
Seamos honestos: el método tradicional de secado de obleas es un desastre. Hay que lidiar con disolventes químicos, metales pesados y esos malvados compuestos orgánicos volátiles que hacen que una sala limpia parezca menos un laboratorio y más un lugar donde algo ha salido mal en un experimento químico.
Decidimos dejar todo eso atrás. Ahora utilizamos calentamiento por radiación infrarroja. Es más limpio, más ecológico, y además funciona mucho mejor.
Cómo funciona realmente
La mayoría de las personas piensan en hornos, donde se calienta el aire con la esperanza de que este caliente la pieza. Pero eso es lento.
La radiación infrarroja es diferente. Es como estar bajo el sol en una tarde de julio. Las lámparas emiten radiación electromagnética directamente hacia la oblea. La ajustamos para que llegue a la frecuencia específica que favorece a las moléculas de agua, lo que permite eliminar rápidamente la humedad de su superficie.
Es rápido… realmente rápido.
Debido a esto, pasamos de esperar minutos a esperar segundos. Además, las máquinas son más pequeñas, lo que nos permite tener más espacio disponible. También disminuyen los costos de energía.
Los problemas y cómo los resolvemos
Para mantener todo libre de sustancias tóxicas, utilizamos lámparas con filamentos de alta pureza. Estas no liberan toxinas al calentarse, lo cual es un gran alivio para quienes respiran el aire en el taller.
Pero hay un problema: la radiación infrarroja genera muchísimo calor en un espacio muy pequeño. Si las obleas tienen diferentes espesores o están hechas de materiales mixtos, puede haber puntos calientes. Si no se tiene cuidado, el silicio podría deformarse. Para evitarlo, utilizamos fuentes de alimentación pulsada para proteger las delicadas estructuras MEMS. También somos muy cuidadosos con la velocidad del transportador y la distancia entre las lámparas. Todo debe estar perfecto.
Qué significa esto para el taller
Si todavía utilizas métodos tradicionales de secado químico, cambiar a la radiación infrarroja es bastante sencillo.
Lo mejor es que ya no tienes que preocuparte por la eliminación de residuos peligrosos ni por gastar dinero en sistemas de ventilación para eliminar los vapores de disolventes. Es la manera más sencilla de cumplir con las normas ambientales sin reducir la velocidad de producción.
Además, los resultados son mejores. No quedan esas manchas molestas que suelen aparecer al usar métodos tradicionales de secado. Las obleas salen completamente limpias.