Eine bessere Methode zum Trocknen von MEMS-Wafern: Warum wir auf Infrarotheizung umgestiegen sind
Seien wir ehrlich – das traditionelle Trocknen von Wafern ist ein Chaos. Man arbeitet mit chemischen Lösungsmitteln, Schwermetallen sowie schädlichen VOCs. Dadurch wirkt ein Reinraum weniger wie ein Labor und eher wie ein missglücktes Chemielaborversuch.
Wir haben beschlossen, all das zu vermeiden. Jetzt verwenden wir Infrarotheizung. Das ist sauberer, umweltfreundlicher – und außerdem effektiver.
Wie es funktioniert
Die meisten Leute denken an Öfen, bei denen die Luft erhitzt wird, in der Hoffnung, dass diese Luft die Wafer erwärmt. Das ist aber langsam.
Infrarotheizung funktioniert anders. Es ist, als würde man sich an einem Juli-Nachmittag in die Sonne setzen. Die Lampen senden elektromagnetische Strahlung direkt auf die Wafer. Wir stellen die Frequenz so ein, dass sie mit der Frequenz übereinstimmt, die Wassermoleküle bevorzugen. Dadurch wird die Feuchtigkeit direkt von der Oberfläche der Wafer entfernt.
Es geht wirklich schnell.Sehr schnell.
Statt Minuten müssen wir nur noch Sekunden warten. Zudem sind die Maschinen kleiner, sodass mehr Platz zur Verfügung steht. Außerdem sinken die Energiekosten.
Die Herausforderungen – und wie wir sie bewältigen
Um sicherzustellen, dass keine Schadstoffe entstehen, verwenden wir Lampen mit hochreinen Filamenten. Diese geben beim Erhitzen keine Toxine ab – was eine große Erleichterung für alle ist, die die Luft im Raum atmen müssen.
Aber es gibt ein Problem: Infrarotheizung erzeugt viel Wärme in einem sehr kleinen Raum. Wenn die Wafer unterschiedliche Dicken oder aus verschiedenen Materialien bestehen, können „heiße Punkte“ entstehen. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann das Silizium beschädigt werden. Um das zu verhindern, verwenden wir gepulste Stromquellen. Zudem achten wir penibel auf die Geschwindigkeit des Transportbands sowie die Entfernung zwischen den Lampen. Alles muss genau richtig sein.
Was das für die Produktionsstätte bedeutet
Falls Sie immer noch alte chemische Trocknungsanlagen nutzen, ist der Umstieg auf Infrarotheizung ziemlich einfach.
Das Beste daran: Sie müssen sich keine Sorgen mehr um die Entsorgung gefährlicher Abfälle machen oder hohe Kosten für die Belüftung ausgeben, um Lösungsmittelgerüche zu beseitigen. Es ist die einfachste Möglichkeit, den Umweltvorgaben gerecht zu werden, ohne die Produktion zu verlangsamen.
Und die Ergebnisse sind besser: Es entstehen keine störenden Rückstände wie bei der Trocknung mit Luftstrom. Die Wafer kommen einfach sauber heraus.