Maximale Nutzung der Wärmeenergie bei der Herstellung von CNTs
Wenn Sie Carbonnanoröhren auf Wafern herstellen, kennen Sie sicherlich die Herausforderungen. Es wird eine enorme Wärmedichte benötigt – doch diese muss präzise gesteuert werden. Es gibt nichts Schlimmeres, als Energie zu verschwenden – oder noch schlimmer: dass diese Energie in das Chassis der Maschine abfließt, anstatt auf den Wafer zu wirken.
Deshalb nutzen wir goldbeschichtete Reflexoren.
Warum Gold?
Es klingt luxuriös, aber es handelt sich dabei um reine Physik. Die meisten Standardreflexoren saugen zu viel Energie auf. Gold hingegen ist hervorragend darin, Infrarotstrahlung zurückzuwerfen. Indem wir die Kammer mit Gold auskleiden, fangen wir die Photonen ein und lenken sie zurück zum Ziel.
Das Ergebnis? Eine gezielte Wärmestrahlung. Sie müssen nicht die Leistung der Stromversorgung erhöhen, um die Arbeit zu erledigen – Sie vermeiden einfach nur den Verlust der bereits vorhandenen Energie.
Der Kampf gegen „Kaltstellen“
Bei der Herstellung von CNTs ist Konstanz entscheidend. Wenn der Temperaturgradient nicht korrekt ist, entsteht eine ungleichmäßige Struktur der Nanoröhren. Das ist ein Albtraum.
Goldreflexoren helfen dabei, diese Unregelmäßigkeiten auszugleichen. Doch hier kommt es darauf an, die Geometrie richtig einzustellen. Wenn die Krümmung des Reflexors nicht mit dem Brennpunkt der Lampe übereinstimmt, können die Ränder des Wafers beschädigt werden. Es geht also um das richtige Gleichgewicht.
Die Kompromisse (denn nichts ist perfekt)
Es gibt allerdings einen Haken: Gold ist weich. Es kann zerkratzen und oxidiert, wenn die Kammer schmutzig wird. Bitte verwenden Sie auf diesen Oberflächen keine abrasiven Reinigungsmittel. Ein einziger Kratzer ist nicht nur unschön – er verzerrt außerdem das Strahlungsmuster.
Noch ein Tipp: Wenn Sie auf dieses System umsteigen, achten Sie auf die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs. Da Gold die Wärmeübertragung viel effizienter macht, werden Ihre alten thermischen Profile wahrscheinlich viel zu heiß werden. Sie sollten daher einen geschlossenen PID-Regler verwenden und Ihre Leistungs-Einstellungen neu kalibrieren. Andernfalls riskieren Sie, Ihren Substrat zu zerstören.