V provozu SRD může výnosnost materiálu v jediném okamžiku prudce klesnout. Svítidlo, které nefunguje správně, způsobuje vznik „vodních stop“, nárůst počtu částic a nutí dobrý materiál být považován za šrot. Naše infračervené svítidlo SRD je navrženo tak, aby eliminovalo tuto variabilitu tam, kde se vyskytuje.
Co je důležité uvnitř svítidla
Svítidlo využívá emitery krátkovlnného infračerveného záření s křemíkovou optikou – energie je tak přenášena přímo do fáze oplachování a sušení. Teplotní rovnoměrnost v komoře zůstává v rozsahu ±0,1 °C, takže každý wafer dostává stejnou teplotní zátěž. Změna nastavených hodnot probíhá za méně než 200 ms, což umožňuje přesnou kontrolu bez nadměrného pohybu teploty.
Je kompatibilní s čistými místnostmi od třídy 1 do třídy 100. Kryt svítidla je hermeticky uzavřený a trasa paprsků je tak uspořádána, aby nevznikaly žádné particule. Výstupní intenzita zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylka intenzity je menší než 5 %.
Proč funguje v procesu SRD
V procesu SRD je potřeba dosáhnout konzistentního sušení bez poškození fotorezistentu nebo vzorů na povrchu waferu. Rychlý nástup teploty u tohoto svítidla zajišťuje, že teplotní profil zůstane v požadovaných mezích, takže integrita fotorezistentu zůstává zachována i po procesech měkkého a tvrdého sušení.
Výsledkem je opakovaně stabilní sušení, nižší hustota vad a méně potřeby oprav. Spotřeba energie klesá, protože emitory rychle dosahují nastavených hodnot a udržují je stabilní, takže se nevytváří zbytečné teplo v procesní komoře. Délka provozu také vzrůstá – řadič je navržen pro nepřetržitý provoz 24/7 a samotné svítidlo je konstruováno pro dlouhou životnost.
Detaily, které zajišťují jeho fungování
Svítidlo splňuje standardní rozměry pro proces SRD, ale integrace musí odpovídat geometrii vašeho zařízení, průtoku vzduchu a emisivitě stěn komory. Pečlivě zkontrolujte místo montáže a tepelné zatížení chladicího systému – pokud chlazení nefunguje správně, rovnoměrnost teploty se mění.
Plánujte krátký testovací období, abyste mohli optimalizovat parametry pro vaše wavery a podmínky v provozu.