V procesu litografie je mírná změna teploty během zahřívání skrytým „vrahem“ kvality – tento problém nevidíte, dokud začne CD-SEM vysílat signály o potížích. Rozdíl teploty 0,5 °C na povrchu polovodičové desky znamená, že kontrola kritických rozměrů selhává. Vyvinuli jsme infračervenou lampu určenou k potlačení této změny teploty již v jejím zdroji.
Co je důležité pod povrchem Používáme krátkovlnné infračervené emitory s rychle reagujícími kvartovými prvky – díky tomu dochází k rychlému a lokalizovanému zahřátí. Termické zpoždění je minimální. Při zahřívání fotorezistů udržujeme rovnost teploty na úrovni ±0,1 °C v celé oblasti zpracování, přičemž opakovatelnost hodnot teploty zůstává v rozmezí ±0,5 °C mezi jednotlivými sériemi výroby.
Výstup je upraven tak, aby odpovídal tepelným požadavkům fotorezistů – žádné překročení teploty, žádné nedostatečné zahřátí – a zabráníme tak vzniku částic. Lampu lze použít v čistých prostorách třídy 1–100. Termický profil byl ověřen podle mezinárodních standardů pro polovodičové zařízení. Jedná se o řešení, které již bylo osvědčeno v praxi.
Proč to funguje v průmyslu Dostanete stabilní výsledky v oblasti kritických rozměrů, což znamená méně oprav. Rychlé dosažení požadované teploty zkracuje dobu zpracování bez narušení kvality, takže se zvyšuje kapacita výroby. Spotřeba energie klesá, protože teplo jde tam, kam je potřeba, a ne do ohřevu stěn komory.
Spolehlivost je zajištěna samotnou konstrukcí lampy – zařízení funguje více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. Díky tomu můžete udržet výrobu v chodu 24/7 a snížit počet neočekávaných zásahů.
Praktické detaily Instalace spočívá v přizpůsobení velikosti a rozhraní lampy vašemu stávajícímu zařízení. Očekávejte určitou míru mechanické a elektrické integrace – nic zásadního, ale je třeba to vzít v úvahu.
Nastavení lampy trvá krátkou dobu – stačí upravit parametry tak, aby odpovídaly Vašim potřebám. Jakmile je lampa nastavena správně, termický profil zůstává stabilní.