في عملية الطباعة الضوئية، فإن التغيرات الطفيفة في درجة الحرارة أثناء عملية التسخين تُعد سببًا خفيًا لانخفاض جودة المنتج، ولا يمكن ملاحظة ذلك إلا عندما يبدأ جهاز CD-SEM في إظهار مشاكل. فأي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 0.5 درجة مئوية قد يؤدي إلى فقدان السيطرة على الأبعاد الحرجة للرقاقة. لذلك، قمنا بتصميم مصابيح الإشعاع تحت الأحمر للتخفيف من هذه التغيرات في درجة الحرارة.
ما الذي يهم حقًا؟ نستخدم مصادر إشعاع تحت الأحمر ذات الموجات القصيرة، مع عناصر كوارتز سريعة الاستجابة، مما يجعل عملية التسخين سريعة ومحددة في مكانها. أما التأخير الحراري، فهو ضئيل للغاية. فيما يتعلق بعملية تسخين المواد الفوتوحساسة، نحافظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة بمقدار ±0.1 درجة مئوية، كما أن دقة الإعدادات تظل ضمن نطاق ±0.5 درجة مئوية من دفعة إلى أخرى.
يتم ضبط الإخراج ليتناسب مع الخصائص الحرارية للمواد الفوتوحساسة، بحيث لا يحدث أي تجاوز في درجة الحرارة، كما نحافظ على عدم تكون أي جسيمات خلال عملية التسخين. يمكن استخدام هذه المصابيح في غرف نظيفة من الفئة 1-100، وقد تم التأكد من أن الخصائص الحرارية لهذه المصابيح تتوافق مع المعايير الدولية لمعدات أشباه الموصلات. إنها حل سهل الاستخدام، وقد تم اختباره في المصانع.
لماذا يُعد هذا الحل مفيدًا في الإنتاج؟ يؤدي استخدام هذا الحل إلى الحصول على أداء مستقر في الأبعاد الحرجة للرقاقة، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة المعالجة. كما أن التسخين السريع يقلل من وقت العملية دون التأثير على جودة المنتج، مما يحسن من كفاءة الإنتاج. بالإضافة إلى ذلك، يقل استهلاك الطاقة، لأن الحرارة تذهب إلى المكان المطلوب، وليس إلى جدران الغرفة.
الموثوقية مضمونة في هذا الحل، فالوحدات تعمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن يقل الإخراج عن 5%، مما يسمح بالاستمرار في الإنتاج على مدار الساعة، ويقلل من الحاجة إلى تدخلات غير مخطط لها.
التفاصيل العملية: يتم تركيب المصابيح بحيث تتناسب مع تصميم الجهاز الحالي. قد يتطلب الأمر بعض الإعدادات الميكانيكية والكهربائية، لكنها ليست معقدة. أما عملية التهيئة، فهي سريعة، وبمجرد تعديل الإعدادات، تظل الخصائص الحرارية ثابتة.