في مرحلة ما بعد التنظيف، يمكن القيام بكل شيء بشكل صحيح، حتى عملية التجفيف، لكن قد يحدث فقدان في الإنتاج إذا لم يتم تجفيف الرقاقة بشكل متساوٍ أو إذا حدث اختلاف في درجة الحرارة أثناء عملية التجفيف. يظهر عدم تساوي درجة الحرارة في شكل بقع مائية وتشققات على سطح الرقاقة. لذلك، قمنا بتصميم أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء لمنع حدوث هذه المشاكل، مع ضمان التحكم الدقيق في درجة الحرارة مباشرة على سطح الرقاقة.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة، مع استجابة سريعة وتحكم دقيق في الطيف، بحيث يتناسب ذلك مع طريقة امتصاص الماء والمواد الكيميائية المستخدمة في عملية الطباعة. وهذا يضمن تساوي درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1°مئوية، على أسطح بأبعاد 150–300 مم. كما أن التكرارية في درجة الحرارة تبقى ضمن نطاق ±0.2°مئوية، مما يضمن أن الخطوات التي لا تتحمل أي تغيرات في درجة الحرارة، مثل عمليات التجفيف، تتم في نطاق مستقر من الحرارة. تم تصميم هذا النظام ليعمل في بيئات نظيفة من الفئة 1–100، مع تصميم يضمن عدم ظهور أي جسيمات أثناء التشغيل.
لماذا ينجح هذا النظام في التطبيق العملي؟ في مرحلة ما بعد التنظيف، تخترق أشعة تحت الحمراء الأجزاء الدقيقة في الرقاقة وتزيل الرطوبة دون تسبب تشققات في السطح، مما يؤدي إلى تجفيف فوري وخالٍ من البقايا. في عملية الطباعة، يساعد نفس النظام في استقرار درجة الحرارة أثناء عمليات التجفيف، مما يضمن إزالة المذيبات بشكل دقيق، ثم يمكن الانتقال إلى عمليات التجفيف الأكثر صرامة لتثبيت الطبقة المطبوعة. كما أن السرعة العالية في رفع درجة الحرارة تقلل من وقت العملية، والتحكم الدقيق في درجة الحرارة يقلل من الهدر وإعادة العمل. كما أن استهلاك الطاقة يظل معقولًا، حيث يتم تسخين الرقاقة فقط، وليس الغرفة بأكملها.
ما يجب التخطيط له أثناء التركيب: يجب التأكد من أن واجهة الأداة ومسارات الهواء تعمل بشكل صحيح، حتى يظل ضغط ودرجة حرارة الغرفة مستقرين. تستخدم أجهزة التسخين معايير SECS/GEM القياسية، لكن إذا كانت الأجهزة ستُستخدم في نظام قديم، فسيتطلب الأمر استخدام حاملات خاصة وإجراءات معايرة. يجب التخطيط لإجراء اختبارات قصيرة لتحديد مستوى الإشعاع الصادر عن الأجهزة والتأكد من تساوي درجة الحرارة على سطح الرقاقة.