半导体洁净室推车式加热器

为何我们放弃强制对流方式，转而使用红外线加热技术 如果你曾在传统的洁净室工作过，那么你一定了解那种情况：那些老式的传送装置依靠强制对流来保持晶圆的适宜温度。不过，这种方法的缺点就是效率低。因为强制对流依赖的是对流效应，也就是说，必须等待空气逐渐将晶圆加热，这一过程相当缓慢。在要求极高的生产线上，这...