如何防止洁净室发生爆炸：关于红外灯的真相
在半导体制造厂中，一旦处理易燃化学物质，就再也没有机会重新开始了。哪怕是一点点的电火花，或者灯具温度过高，都可能引发灾难。
因此，我们在设置红外加热装置时必须格外小心。
对抗蒸汽的问题
事实上，易挥发的蒸汽很容易进入电气接口中。为了解决这个问题，我们不会仅仅依靠橡胶密封件来解决问题。我们会使用石英与金属制成的密封装置，以及具有抗腐蚀性的特殊填充材料，以此来防止酸性物质侵入。
关键在于打造一道物理屏障。如果密封装置出现故障，蒸汽就会进入灯具内部，从而使其变成点火源。这显然不是好事。我们会确保这些密封装置能够在最恶劣的溶剂环境中依然保持完好无损。
控制温度
精确度至关重要。如果温度控制不当，整个生产过程就会瘫痪。
我们会使用高灵敏度的热电偶，它们可以实时监测表面温度，然后将数据传递给闭环PID控制器。
这样做的目的不仅仅是避免灯具烧毁，更重要的是防止周围的蒸汽达到其闪点。相信我，你肯定不想和老板讨论这种问题。
必要的妥协
当然，这样的安全措施并非没有代价。首先，这类设备体积较大，因为需要使用各种重型密封装置，所以设备的占用空间也会增加。此外，热量传递的速度也会变慢，因为那些保护性屏蔽层会带来一定的阻力。
其实，这只是一个简单的选择而已：为了确保洁净室的安全，我们愿意牺牲一点速度。我们总是会选择这种方式。