在制造车间中，SRD工艺环节是最容易出现质量问题的地方。哪怕是微小的故障，都可能导致水印的产生、颗粒数量上升，进而让合格的产品被误判为废品。我们设计的SRD红外线灯，正是为了消除这些异常情况。
关键特性 该灯采用短波红外线发射器，配合石英光学元件，将能量直接传递到清洗和干燥阶段。腔室内的温度均匀性可保持在±0.1°C以内，这样每块晶圆都能获得一致的热处理条件。温度设定点的调整时间在200毫秒以内，因此可以精确控制温度，避免出现偏差。
该产品适用于从1级到100级的洁净室环境。其外壳是密封的，而且发射器的结构设计确保不会产生颗粒物。其输出功率可保持稳定超过5,000小时，强度变化幅度不超过5%。
为何适合用于SRD工艺 在SRD工艺中，需要确保良好的干燥效果，同时不能损伤光刻胶或图案结构。该灯的快速升温功能能保持温度在理想范围内，从而确保光刻胶在软烘和硬烘过程中仍能保持完好状态。
这样一来，就能实现稳定的干燥效果，降低缺陷率，减少返工量。此外，由于发射器能快速达到设定温度并保持稳定，因此无需向工艺腔室内排放多余的热量。设备的运行时间也会更长——其驱动器设计为可以24/7持续运转，而灯体本身也具有较长的使用寿命。
使其正常工作的细节 该灯的尺寸符合标准SRD接口要求，但实际安装时需考虑工具的几何结构、气流情况以及腔壁的反射率。务必仔细检查安装接口以及冷却系统的性能；如果冷却效果不佳，温度均匀性就会受到影响。
建议进行一定的测试，以便根据具体的晶圆堆叠条件和生产线状况来调整参数。