Ngừng lãng phí năng lượng: Cách làm nóng wafer một cách hiệu quả
Trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, việc lãng phí năng lượng không chỉ là vấn đề về chi phí – mà còn là sai sót trong thiết kế. Khi làm nóng wafer, chúng ta không chỉ muốn tạo ra nhiều nhiệt lượng hơn thôi; chúng ta cần để năng lượng đó tập trung vào vị trí cần thiết trên bề mặt wafer.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ vàng. Chúng giúp ngăn không cho năng lượng hồng ngoại tràn vào thân máy và bị lãng phí.
Tại sao lại chọn vàng?
Hầu hết mọi người thường sử dụng nhôm hoặc thép không gỉ để làm tấm phản xạ. Nhưng vấn đề là chúng để lỏng quá nhiều năng lượng. Vàng thì khác: nó có khả năng phản xạ tia hồng ngoại rất tốt. Thay vì để nhiệt lượng lan tỏa khắp nơi, lớp vàng này sẽ đẩy các photon trở lại về phía wafer. Nhờ đó, chúng ta có thể đạt được mức nhiệt mong muốn mà không cần tăng điện áp hay gây áp lực lên hệ thống.
Xử lý vấn đề nhiệt
Điểm tuyệt vời nhất là nhờ vào khả năng phản xạ cao của các tấm phản xạ này, chúng ta có thể sử dụng công suất thấp hơn mà vẫn đạt được nhiệt độ mong muốn. Các quạt làm mát cũng không cần phải hoạt động quá công suất. Ngoài ra, tuổi thọ của các sợi dây tóc trong bóng đèn cũng được kéo dài hơn, vì chúng không bị đẩy đến giới hạn công suất.
Tuy nhiên, chúng ta cần chú ý đến việc căn chỉnh các tấm phản xạ. Vì năng lượng được tập trung ở mức cao, một sai số nhỏ cũng có thể tạo ra điểm nóng. Bạn cũng cần kiểm tra kỹ các bộ điều khiển PID. Các tấm phản xạ này có khả năng tăng nhiệt độ rất nhanh, vì vậy các thiết lập cần được điều chỉnh cho phù hợp.
Duy trì hoạt động ổn định
Chúng tôi thiết kế các tấm phản xạ này để có thể thay thế ngay lập tức mà không cần phải thay đổi bất kỳ thiết bị nào khác. Chỉ cần thay thế chúng vào hệ thống IR hiện tại là được.
Lưu ý về việc vệ sinh: Vàng là chất mềm. Nếu kỹ thuật viên sử dụng các chất tẩy rửa mạnh để làm sạch chúng, lớp phủ vàng sẽ bị xước, từ đó làm giảm hiệu suất của chúng. Hãy sử dụng vải mềm và cồn isopropyl để làm sạch chúng. Hãy giữ chúng sạch sẽ, vì một chút bụi cũng có thể cản trở khả năng phản xạ của chúng, khiến chúng ta quay trở lại điểm xuất phát.