На полі виробництва цикл SRD може призвести до значних втрат якості продукції. Лампа, яка працює некоректно, починає створювати „сліди“ на поверхні пластин, підвищує кількість частинок та змушує годну до використання матеріал вважатися відходами. Ми розробили інфрачервону лампу SRD для усунення цих проблем.
Що є важливим у її конструкції
Лампа використовує короткохвильові інфрачервоні емітери з кварцовою оптикою, які передають енергію безпосередньо на етапи промивання та сушіння. Температурна однорідність у всій камері залишається на рівні ±0,1°C, тож кожна пластина отримує однакове теплове навантаження. Зміна параметрів відбувається менш ніж за 200 мс, що дозволяє ефективно контролювати процес без перевищення заданих значень.
Лампа підходить для використання в чистих приміщеннях класів від 1 до 100. Корпус лампи є герметичним, а шлях проходження енергії спроектований так, щоб не виникало випадання частинок. Рівень потужності залишається стабільним протягом 5 000 годин, а зміна інтенсивності світіння не перевищує 5%.
Чому лампа підходить для процесу SRD
У процесі SRD необхідно досягти послідовного сушіння без пошкодження фотолаку чи візерунків на поверхні пластин. Швидке регулювання температури дозволяє підтримувати необхідний рівень температури, тож інтегритет фотолаку залишається незмінним після процедур сушіння.
Це дозволяє досягти стабільного сушіння, знизити кількість дефектів та скоротити кількість необхідних корекцій. Використання енергії зменшується, оскільки емітери швидко досягають заданих значень та підтримують їх, тож зайва теплота не потрапляє в камеру. Також покращується тривалість роботи – блок керування розроблений для 24/7 роботи, а сама лампа призначена для довготривалого використання.
Деталі, які забезпечують ефективність лампи
Лампа підходить для стандартних пристроїв SRD, але її інтеграція має відповідати геометрії обладнання, потоку повітря та емісійності стінок камери. Обов’язково перевірьте інтерфейс кріплення та теплове навантаження на систему охолодження; якщо охолодження не є ефективним, однорідність температури буде порушена.
Необхідно провести тестування для визначення оптимальних параметрів роботи лампи для вашого обладнання та умов виробництва.