На заводі з виробництва чипів процес висушування фотополімеру – це не той процес, де можна дозволяти собі будь-які неточності. Зміна температури на рівні ±1,5°C може призвести до зміни критичних розмірів елементів чипа та порушення параметрів їх розташування. Щит від лампи є ефективним засобом для підтримки стабільної температури – він знаходиться між джерелом енергії та пластиною, тож запобігає передачі тепла чи, навпаки, дозволяє йому проникати.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми будуємо кварцові щити для ламп у умовах чистого приміщення, керуючись двома основними принципами: однорідністю температури та контролем частинок. Склад кварцу забезпечує високу пропускну здатність для короткохвильового та середньохвильового інфрачервоного світла, тож профіль температури відповідає кривій поглинання фотополімеру. Геометрія щита розроблена так, щоб забезпечити стабільну температуру на всій поверхні пластини, зберігаючи однорідність температури в межах ±0,1°C протягом усього процесу.
У чистих приміщеннях класу 1–100 з’єднання щита герметизуються, а поверхні шліфуються для зменшення мікрорельєфу. Це дозволяє уникнути утворення частинок під час процесу висушування. Результатом є стабільні параметри процесу протягом усіх циклів виробництва.
Чому це ефективно в промисловості
Процеси літографії, контролю та висушування ведуться 24/7. Коли щит ефективно підтримує стабільну температуру, не виникає проблем із точністю розташування елементів чипа. Це покращує повторюваність процесу, зменшує кількість необхідних корекцій та допомагає стабілізувати роботу заводу.
Щит також захищає лампу та оптику від побічних продуктів процесу, що подовжує термін їх служби та зменшує час простою. Насправді це означає меншу кількість замін ламп, меншу втрату енергії та можливість планування періодів обслуговування.
На що потрібно звернути увагу під час встановлення
Толеранції є дуже точними. Щит мусить бути розташований точно по осі фокусування лампи та відповідати геометрії камери для висушування. Навіть незначна неточність у 0,5 мм може призвести до виникнення нерівномірностей температури.Необхідно вказати точні розміри та сумісність з’єднувачів з обладнанням, а також встановити графік перевірки кріплень щита, щоб забезпечити стабільну температуру протягом усього часу роботи.