На виробничій лінії ефективність нагрівання фоторезисту залежить від одного фактора – температури в камері. Навіть зміна температури на 0,5°C може вплинути на параметри фоторезисту. Холодні зони можуть призвести до погіршення якості фоторезисту, що проявляється у появі недосконалостей на поверхні матеріалу. Ми створили спеціальний нагрівач для камери, який допомагає усунути ці коливання температури.
Що є важливим у конструкції
Усередині камери розташовані випромінювачі середньохвильового інфрачервоного світла. Це дає швидке нагрівання з мінімальною кількістю теплової енергії, яка залишається в камері. Рівномірність температури в камері становить ±0,1°C, а точність – ±0,05°C між окремими партіями продукції. Система керування є PID-типу з роздільною здатністю 24 біти; всі параметри калібруються за допомогою сенсорів високої точності.
Усі поверхні, які контактують з рідинами, виготовлені з матеріалу 316L, а всі ущільнювачі призначені для роботи з розчинниками та кислотами. Конструкція нагрівача сумісна з умовами чистих приміщень, відповідає стандартам ISO Class 1–100. Утворення частинок зменшується завдяки ламінарному потоку повітря та фільтрації типу HEPA. Щільність потужності нагрівача налаштовується відповідно до об’єму камери; є можливість використання напруги від 120 В до 480 В. Конектори відповідають стандартам CE, а також є захист від витоку струму.
Чому цей нагрівач підходить для літографії
У процесі літографії камера забезпечує саме ту температуру, яка необхідна для правильного нагрівання фоторезисту. Не існує гарячих точок, які могли б спричинити проблеми з поверхнею фоторезисту, а також холодних зон, які могли б затримувати розчинники. Це забезпечує однорідну товщину шару фоторезисту, меншу кількість необхідних корекцій та стабільний контроль параметрів.
Енергоспоживання знижується завдяки тому, що випромінювачі нагріваються лише тоді, коли це необхідно; рівень втрат енергії у режимі очікування становить менше 1%. Пристрій призначений для 24/7 роботи; термін служби перевищує 50 000 годин. Доступ до елементів керування здійснюється через передню панель, що дозволяє мінімізувати час простою.
Ось практичні деталі
Нагрівач потребує окремої, стабілізованої схеми живлення. Якщо використовуються агресивні хімікати, необхідно провести процедуру очищення камери за допомогою сухого азоту – інакше може утворюватися конденсат, що призведе до змін температури. Розміри камери та ущільнювачі повинні відповідати розмірам приміщення, де вона буде встановлена. Під час встановлення необхідно провести перевірку рівномірності температури – це допоможе визначити оптимальні значення для керування.