Fabrikada Termal Kesinliği Doğru Ayarlamak
Waferleri kuruturken ısı her şeydir. Ancak bu durumda dikkatli bir denge gereklidir. Eğer ısı mükemmel şekilde dağıtılmazsa, waferlerde bükülme veya düzensiz kimyasal birikintiler oluşur. Bunu önlemek için yüksek yansıtma özelliğine sahip IR sistemlerinden yararlanırız. Temel olarak, bu sistemler enerjiyi tekrar substrata geri gönderir. Modern fabrikalarda bu işlem sadece “ısıyı artırmak” anlamına gelmez; aynı zamanda gerçek zamanlı izleme ve yok olacak olan enerjinin geri kazanılması da önemlidir.
Yansıtıcıların Neden Önemli Olduğu
Standart bir kurutma lambasını düşünün. Bu lamba enerjiyi her yöne, yani 360 dereceye yayar. Eğer yansıtıcı yoksa, gücünüzün yarısını boşa harcamış olursunuz. İşte bu yüzden altın kaplı veya yüksek saflıkta alüminyumdan yapılmış parabolik yansıtıcılar kullanırız. Bunlar kısa dalga boyundaki IR radyasyonunu yakalar ve onu tam da ihtiyaç duyulan yere yönlendirir. En iyi yanı ise, wattajı artırmadan waferlerde daha yüksek sıcaklıklar elde edilebilmesidir. Böylece hedef nokta sıcak kalırken, makinenin geri kalan kısımları soğuk kalır. Çok basit.
“Akıllı” Hale Getirme
Modern fabrikalardaki her cihazın sistemin diğer parçalarıyla iletişim kurabilmesi gerekir. Bunu sağlamak için bu yansıtıcıları IR sensörler ve kapalı döngülü PID kontrol cihazlarıyla birleştiririz. Bu sayede sensör sıcaklığı kontrol eder ve lamba anında gücünü ayarlar. Böylece tüm waferlerin bozulmasına neden olabilecek “sıcak noktalar”ndan kaçınılmış olur.
Bir ipucu: Yansıtıcının geometrisinin lambanın odak uzunluğuyla uyumlu olduğundan emin olun. Eğer uyumlu değilse, eşitsiz bir kurutma süreci yaşanır ve elektrik faturası da artar.
Bakımın Gerçekleri
İşin kötü yanı, bu yüksek yansıtma özellikli kaplamalar çok hassastır. Toz ve kimyasal buharlar tarafından zarar görürler. Hatta küçük bir kir bile yansıtma özelliğini %10 veya %15 oranında azaltabilir. Bu durumda lambaların daha fazla çalışması ve daha yüksek sıcaklıkta çalışması gerekir. Bu da lambaların daha hızlı bozulmasına neden olur. Daha kaliteli kaplamalar için daha fazla para ödemek mi, yoksa daha sık lamba değiştirmenin zahmetleriyle mi uğraşmak istediğinize karar vermelisiniz. Benim tavsiyem? Sıkı bir temizlik programına bağlı kalmaktır. Bu, verimliliğinizin düşmesini engellemenin en kolay yoludur.