ในโรงงานที่มีการผลิตสูง อุณหภูมิของเวเฟอร์ไม่ใช่ “ตัวแปร” ที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการ แต่เป็นส่วนที่แน่นอนในสมการผลผลิต การเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาในระหว่างการประมวลผลฟอโต้เรซิสต์หรือการอบเวเฟอร์สามารถปรากฏเป็นความไม่สม่ำเสมอของความหนาและข้อบกพร่องของรูปแบบในภายหลัง และคุณจะเห็นมันเฉพาะที่การทดสอบทางไฟฟ้าเมื่อของที่ถูกทิ้งมีค่าใช้จ่ายสูงแล้ว เราได้สร้างเครื่องทำความร้อนอินฟราเรดเพื่อกำจัดความแปรปรวนนี้ในระดับกระบวนการ
สิ่งที่สำคัญในทางเทคนิค
ระบบอินฟราเรดคลื่นสั้นของเรารักษาความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งชัค และสามารถตั้งค่าที่จุดใหม่ได้ภายในเวลาไม่ถึง 2 วินาที องค์ประกอบของเครื่องทำความร้อนเป็นควอทซ์-ฮาโลเจน โดยมีการควบคุมสเปกตรัมที่แน่นอน ทำให้พลังงานส่งตรงไปยังฟอโต้เรซิสต์และซับสเตรตโดยไม่ทำให้ฮาร์ดแวร์รอบข้างร้อนเกินไป การควบคุมเป็นแบบปิดลูป และเซ็นเซอร์จะถูกปรับเทียบและแผนที่ตรงไปยังสูตรกระบวนการ—การอบเบา การอบแข็ง และการบ่ม—ดังนั้นความสามารถในการทำซ้ำของอุณหภูมิสามารถตรวจสอบได้ตามล็อต การทำงานของฮาร์ดแวร์พร้อมสำหรับห้องสะอาด โดยมีพื้นผิวที่เข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 และการสร้างอนุภาคยังคงอยู่ที่ศูนย์ในระหว่างการทำงานในสภาวะคงที่
ทำไมมันจึงทนทานในการผลิต
ในเซลล์ลิโธกราฟี การอบเบาคือจุดที่คุณตั้งความหนืดของฟอโต้เรซิสต์และขับสารละลายออกไป พลังงานน้อยเกินไปจะทำให้เกิดขอบเบด ส่วนมากเกินไปจะทำให้การควบคุมขนาดที่สำคัญเริ่มเบี่ยงเบน โมดูลอินฟราเรดของเราสามารถตั้งอุณหภูมิได้ตรงตามที่สูตรกำหนด ซึ่งช่วยลดการทำงานซ้ำและเพิ่มความสม่ำเสมอของความกว้างของเส้น
การทำความร้อนที่รวดเร็วและสม่ำเสมอนี้มีความสำคัญหลังการทำความสะอาดด้วย เมื่อคุณทำการอบเวเฟอร์ คุณจะขจัดความชื้นโดยไม่มีแรงดันความร้อน—ไม่มีไมโครบริดจ์ ไม่มีรอยน้ำ ผลที่ได้คือการเบี่ยงเบนน้อยลง งบประมาณความร้อนที่เสถียร และเวลาในการทำงานที่สามารถรองรับการผลิตตลอด 24 ชั่วโมงทุกวัน และเพราะพลังงานจะถูกส่งไปโดยตรงและเฉพาะเมื่อสูตรบอกให้ทำเช่นนั้น คุณจึงไม่สูญเสียพลังงาน
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้องตั้งแต่เริ่มต้น
การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่ขนาดเครื่องทำความร้อนและการเชื่อมต่อกับเครื่องติดตามหรือเครื่องเคลือบ—ประเภทของการเชื่อมต่อ ความชัดเจนทางกล และการเข้ากันโดยรวม ระบบทำงานได้ดีที่สุดเมื่อห้องและชัคมีการปล่อยอินฟราเรดและมวลความร้อนที่เข้ากันได้กับกระบวนการ หากไม่เช่นนั้น การตั้งค่าจุดอาจเบี่ยงเบนได้ วางแผนงบประมาณความร้อนตลอดทั้งลำดับ—การทำความร้อนล่วงหน้า การถือ การเพิ่มขึ้น—มิฉะนั้นคุณจะเสี่ยงต่อการเกิดฟอโต้เรซิสต์ผิวหนัง เมื่อมันถูกติดตั้งอย่างเหมาะสม หน่วยจะทำงานด้วยการบำรุงรักษาน้อยที่สุดและให้ผลผลิตที่สม่ำเสมอเป็นเวลา 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป