На производственном участке качество обработки фоторезиста зависит от одного фактора – температуры в камере. Изменение температуры на 0,5°C может привести к изменению критических размеров изделия. Недостаточная температура может вызвать проблемы с фоторезистом; в результате появляются неравномерности на поверхности изделия. Мы разработали специальный нагреватель для камеры, чтобы минимизировать такие колебания температуры.
Что действительно важно Внутри камеры используются излучатели средних инфракрасных волн. Это позволяет быстро нагревать камеру при минимальных затратах энергии. Равномерность температуры в камере составляет ±0,1°C, а точность повторяемости процесса – ±0,05°C между отдельными партиями продукции. Система контроля основана на принципе PID с разрешением 24 бита; она калибруется с использованием точных датчиков.
Все поверхности, соприкасающиеся с химикатами, изготовлены из материала 316L, а все уплотнения рассчитаны на работу в условиях наличия растворителей и кислот. Конструкция нагревателя соответствует требованиям чистых помещений (стандарт ISO 1–100). Образование частиц сведено к минимуму благодаря ламинарному потоку воздуха и фильтрации типа HEPA в системе выходного воздуха. Плотность мощности подбирается в зависимости от объема камеры; имеются варианты напряжения от 120 В до 480 В. Конекторы соответствуют стандарту CE, а также предусмотрена защита от утечек тока.
Почему это полезно в литографии Благодаря этой системе в камере поддерживается точная температура, необходимая для правильной обработки фоторезиста. Нет жарких точек, которые могли бы вызвать проблемы с поверхностью изделия, и нет холодных зон, где могут скапливаться растворители. Это позволяет достигать однородной толщины пленки, сокращать количество необходимых корректировок и обеспечивать стабильный контроль критических размеров изделия.
Потребление энергии снижается, поскольку излучатели начинают работать только тогда, когда это необходимо. Уровень потерь в режиме ожидания составляет менее 1%. Устройство предназначено для круглосуточной работы; срок службы превышает 50 000 часов. Доступ к элементам оборудования осуществляется через переднюю панель, что минимизирует время простоя.
Практические детали Нагревателю необходима отдельная, стабилизированная сетевая цепь. Если используются агрессивные химикаты, необходимо провести очистку камеры с использованием сухого азота – иначе может образоваться конденсат, что приведет к изменениям температуры. Размеры камеры и уплотнения должны соответствовать размерам самого оборудования. Во время установки необходимо провести проверку равномерности температуры в камере. Это позволяет определить оптимальные параметры управления и убедиться в однородности температуры внутри камеры.