Stop met het verspillen van energie: zorg goed voor de verwarming van de wafer
In semiconductiefabrieken is het verspillen van energie niet alleen een financieel probleem – het is ook een ontwerpfout. Wanneer je een wafer wilt opwarmen, wil je niet zomaar ‘meer warmte’. Je wilt dat de energie daadwerkelijk terechtkomt op het oppervlak waar het moet zijn.
Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Dit voorkomt dat de infrarode energie in het chassis van de machine terechtkomt en verdwijnt.
Waarom goud?
De meeste mensen beginnen met gepolijst aluminium of roestvrij staal. Het probleem? Ze laten te veel energie ontsnappen. Goud is anders. Het is zeer effectief in het weerkaatsen van infraroodstraling. In plaats van dat de warmte overal heen wordt verspreid, stuurt de gouden laag de fotonen juist terug richting de wafer. Hierdoor krijg je een sterker warmtestroom, zonder dat je de spanning hoeft op te voeren of je systeem onder druk zet.
Omgaan met de warmte
Het goede nieuws is dat je de lampen op een lager vermogen kunt gebruiken, omdat de reflectoren zo effectief zijn. Je koelventilatoren hoeven dan ook minder hard te werken. Bovendien blijven de lampfilamenten langer intact, want ze worden niet overbelast.
Je moet echter wel goed opletten met de alignment. Omdat de energie zo geconcentreerd is, kan een fout van een paar millimeter al tot hete plekken leiden. Controleer ook je PID-regelaars goed. Deze reflectoren zorgen er namelijk voor dat de warmte snel stijgt – dus je moet de instellingen goed afstemmen om dit te kunnen handhaven.
Het systeem in stand houden
We hebben deze reflectoren ontworpen als vervanging voor bestaande reflectoren. Je kunt ze eenvoudig inzetten in je huidige IR-installatie, zonder dat je iets aan de stroomvoorziening of de kabels hoeft te veranderen. Het is een simpele vervanging.
Een tip over het schoonmaken: goud is zacht. Als je technici schurende reinigingsmiddelen gebruiken, kunnen ze de laag beschadigen en daarmee de efficiëntie verminderen. Voorkom dit. Gebruik liever een zachte doek en isopropylethanol. Houd het schoon, want zodra er stof op het gouden oppervlak terechtkomt, wordt de straling geblokkeerd en ben je weer terug bij af.