Dalam proses pembersihan selepas proses pengeluaran, segala-galanya boleh dilakukan dengan betul, namun masih ada kemungkinan berlaku masalah jika wafer dikeringkan secara tidak sekata atau suhu pemanasan tidak konsisten. Ketidakkonsistenan suhu akan menyebabkan masalah seperti adanya bintik-bintik air pada permukaan wafer, serta masalah lain yang berkaitan dengan permukaan wafer itu sendiri. Kami telah mencipta pemanas inframerah yang digunakan selepas proses pembersihan untuk mengatasi masalah-masalah ini, dengan kawalan suhu yang tepat pada permukaan wafer itu sendiri.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami menggunakan cahaya inframerah gelombang pendek yang mempunyai respons yang cepat dan kawalan spektrum yang ketat, sesuai dengan cara air dan bahan fotorezist menyerap cahaya tersebut. Ini memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer sebanyak ±0.1°C, dalam lingkungan substrat berukuran 150–300 mm. Kelainan suhu antara setiap sesi pemanasan pula adalah sekitar ±0.2°C. Dengan ini, proses-proses yang memerlukan kawalan suhu yang tepat—seperti proses pemanasan lembut, pemanasan keras, dan proses pengeringan selepas pembersihan—boleh dilakukan tanpa masalah. Platform ini direka untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100, dengan reka bentuk yang mampu menghalang penambahan zarah-zarah debu semasa operasi.
Mengapa ia berkesan dalam praktiknya
Dalam proses pembersihan selepas pengeluaran, cahaya inframerah dapat menembusi struktur mikro pada permukaan wafer dan menghilangkan kelembapan tanpa menyebabkan masalah pada permukaan wafer. Dalam proses litografi pula, platform ini membantu menstabilkan suhu pemanasan lembut, sehingga memungkinkan penghapusan pelarut secara efektif. Setelah itu, proses pemanasan keras boleh digunakan untuk proses pengerasan bahan tersebut. Kelajuan pemanasan yang tinggi memendekkan masa proses, dan kawalan suhu yang ketat mengurangkan jumlah bahan yang perlu dibuang atau diperbaiki. Penggunaan tenaga juga efisien, kerana hanya wafer sahaja yang dipanaskan, bukan seluruh ruang di dalam bilik bersih.
Apa yang perlu dirancang semasa pemasangan
Anda perlu memastikan antaramuka alat dan saluran pengudaraan berfungsi dengan baik, agar tekanan dan suhu di dalam bilik bersih tetap stabil. Pemanas-pemanas ini menggunakan standard SECS/GEM, tetapi jika ia digunakan dalam platform lama, anda perlu menggunakan bracket khas serta prosedur kalibrasi yang sesuai. Rancanglah ujian singkat untuk memastikan kualiti pemanasan dan keseragaman suhu sesuai dengan jenis bahan yang digunakan.