Di bilik pengeluaran, prestasi proses pembakaran bahan fotoresist bergantung sepenuhnya pada suhu di dalam kotak tersebut. Perubahan suhu sebanyak 0.5°C sudah cukup untuk mengubah dimensi yang penting dalam proses pengeluaran. Zon yang sejuk akan menyebabkan bahan fotoresist tidak berfungsi dengan baik, dan ini akan menyebabkan masalah seperti ketidakseragaman lapisan bahan tersebut. Kami telah membina pemanas khas untuk kotak kimia ini agar perubahan suhu dapat dikurangkan.
Apa yang penting di bahagian dalam kotak tersebut
Kami menggunakan pemancar gelombang inframerah sederhana di dalam bilik yang diinsulasikan menggunakan kuarsa. Suhu yang dihasilkan adalah stabil, dengan variasi suhu sekitar ±0.1°C. Repeatabiliti suhu pula adalah ±0.05°C antara setiap sesi pengeluaran. Sistem kawalan menggunakan prinsip PID dengan resolusi 24-bit, dan diselaraskan menggunakan sensor yang boleh dipercayai.
Semua permukaan yang bersentuhan dengan bahan kimia telah diproses secara elektropolishing menggunakan bahan 316L. Setiap penutup juga direka untuk tahan terhadap bahan pelarut dan asid. Reka bentuk pemanas ini sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih yang memenuhi standard ISO Class 1–100. Penghasilan zarah-zarah kecil diminimumkan melalui reka bentuk aliran udara yang efektif serta sistem penapisan HEPA pada saluran keluar udara. Kepadatan tenaga pemanas disesuaikan mengikut isipadu kotak tersebut, dengan voltan antara 120 V hingga 480 V. Komponen-komponen pemanas ini mematuhi standard CE, dan dilengkapi dengan sistem perlindungan terhadap kebocoran arus elektrik.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi
Dalam proses litografi, kotak ini mampu mengekalkan suhu yang tepat untuk proses pembakaran bahan fotoresist. Tidak ada zon panas yang boleh menyebabkan masalah, dan tidak ada zon sejuk yang boleh menyebabkan bahan kimia terperangkap. Ini membolehkan lapisan bahan fotoresist dibuat dengan ketebalan yang konsisten, mengurangkan keperluan untuk melakukan proses pembuatan semula, dan memastikan kawalan dimensi yang stabil.
Penggunaan tenaga diminimumkan kerana pemancar pemanas hanya beroperasi apabila diperlukan. Kerugian tenaga semasa mod berehat pula kurang daripada 1%. Kotak ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan jangka hayat melebihi 50,000 jam. Akses untuk penyelenggaraan dilakukan melalui panel depan, supaya masa henti operasi dapat dikurangkan.
Butiran praktikal
Pemanas ini memerlukan litar bekalan kuasa yang stabil. Jika anda menggunakan bahan kimia yang agresif, pastikan bilik tersebut bebas daripada udara lembap. Saiz kotak dan penutup pintunya harus disesuaikan dengan saiz ruang tersebut. Lakukan ujian pemetaan suhu semasa pemasangan, agar nilai kawalan suhu dapat ditentukan dengan tepat, dan kestabilan suhu dapat dipastikan.