Di kilang pembuatan cip, proses pemanasan bahan fotoresist merupakan langkah penting yang tidak boleh diabaikan. Sebarang perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanasan akan menyebabkan perubahan pada dimensi kritikal bahan tersebut, dan itu akan mengakibatkan proses pengeluaran terhenti. Kami mencipta lapisan kuarsa ini untuk digunakan bersama lampu IR di kilang tersebut, agar suhu dapat dikawal dengan tepat dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain.
Apa yang penting dalam reka bentuk ini
Lapisan kuarsa ini direka khusus untuk membenarkan penghantaran gelombang inframerah jarak pendek. Ia memastikan suhu tetap stabil pada tahap ±0.1°C di seluruh permukaan bahan yang dipanaskan. Ini bermakna setiap lapisan fotoresist akan menerima suhu yang sama. Reka bentuk ini juga memastikan persekitaran bilik bersih, kerana bahan yang digunakan dapat mengelakkan pembentukan zarah-zarah yang boleh merosakkan bahan tersebut. Dengan reka bentuk ini, anda dapat memperoleh profil pemanasan yang konsisten, reflektiviti yang stabil, serta prestasi yang konsisten walaupun selepas ribuan jam penggunaan.
Mengapa ia penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi, suhu mempengaruhi lebar garisan, daya melekat antara bahan-bahan, serta kepadatan kecacatan pada cip yang dihasilkan. Lapisan kuarsa ini membantu menstabilkan suhu semasa proses pemanasan, sehingga mengurangkan sisa bahan yang tidak digunakan dan memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana sistem dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat dan mengekalkannya tanpa fluktuasi suhu yang signifikan. Kebolehpercayaan sistem ini membolehkannya beroperasi 24/7, sekali gus mengurangkan keperluan untuk menukar lampu, mengurangkan amaran yang timbul, dan memudahkan perancangan penyelenggaraan.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Pemasangan memerlukan penyesuaian yang tepat pada posisi lampu serta penyambungan yang sesuai dengan alat yang digunakan. Jika ada ketidaksesuaian, ia akan menyebabkan masalah seperti titik panas yang boleh memendekkan jangka hayat lampu. Pastikan geometri ruang pemprosesan serta voltan yang digunakan adalah tepat sebelum melakukan pemasangan. Gunakan kaedah pembersihan yang betul untuk mengelakkan kerosakan pada permukaan bahan tersebut. Lakukan pemeriksaan berkala agar masalah dapat dikesan lebih awal.