MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법: 왜 우리는 적외선을 선택했는가 솔직히 말해서, 전통적인 웨이퍼 건조 방식은 혼란스럽고 엉망진창입니다. 화학 용제나 중금속, 그리고 유해한 VOC들 때문에 청정실이 마치 실험실이라기보다는 실패한 화학 실험장처럼 보입니다...