SRD(스핀 리인스 드라이어) 적외선 램프

제조 현장에서 SRD 공정에서는 수율이 순식간에 떨어질 수 있습니다. 약간만 문제가 생겨도 웨이퍼에 얼룩이 생기고, 입자 수가 증가하여 양질의 웨이퍼들이 폐기물이 되어버립니다. 저희는 이러한 변동성을 해결하기 위해 특수한 적외선 램프를 개발했습니다. 중요한 요소들 이...