ウェーハの処理において、無駄に電力を消費することは避けましょう。正直言って、ウェーハの処理においては、無駄に消費される1ワットごとが、予算の無駄遣いに他なりません。IRエミッターを使う際には、そのエネルギーがウェーハに届くようにしなければなりません。周囲の空気を加熱してしまっては意味がありません。
これを解決するために、私たちは金メッキされた反射板と高品質なセラミック製のエンドキャップを組み合わせています。そうすることで、エネルギーを適切な場所に留め、ハードウェアが故障するのを防ぎます。
なぜ金メッキが重要なのか？
通常のエミッターは、熱をあちこちに放出します。反射板がなければ、エネルギーの半分が機械の外殻に消費されてしまいます。
だからこそ、私たちは金を使用します。金は見た目のためだけではありません。赤外線を効果的に反射する特性があります。まるで鏡のように、光子を直接対象物に戻すのです。
これにより、より正確に熱を集中させることができます。つまり、目標とする温度により早く到達できます。また、フィラメントが破損するほど高い電圧をかける必要もありません。
ランプを壊さないための秘訣
ほとんどのIRランプは、エンドキャップ部分で故障します。そこは非常に過酷な環境であり、高温の石英管と電気端子が接続されているため、大きな温度差が生じます。
私たちはセラミックを使用しています。セラミックは熱に強く、膨張や収縮によっても割れることはありません。
高いワット数を使用する場合、この接続部がしっかりしている必要があります。緩んだ接続や不良なシールでは、アークが発生し、そうなるとランプは破損してしまいます。
注意すべき点
金メッキには初期コストがかかりますが、長期的には運用コストを削減する手段と考えることができます。
ただし、エネルギー密度が非常に高いため、ウェーハのサポート構造がその熱をしっかりと耐えられるか確認する必要があります。冷却システムが余分な熱を外部に排出できなければ、ホットスポットが発生してしまいます。
また、これらの反射板を取り付ける際には、時間をかけて丁寧に行う必要があります。反射板は非常に精密なので、ランプの位置が少しでもずれると、熱の分布が乱れてしまいます。正しく設置すれば、問題ありません。