真空チャンバー用赤外線ヒーター

もう、ヒーターを待つのはやめましょう。なぜ真空赤外線ヒーターが半導体製造に最適なのか もし依然として半導体の深度加工に熱風循環を利用しているのであれば、実質的に半日以上を待つことに費やしていることになります。真空赤外線ヒーターに切り替えることは、単なるハードウェアの交換に過ぎず、ウエハーにエネルギ...