Berhentilah Menunggu Proses Pemanasan: Mengapa Pemanas Inframerah vakum merupakan pilihan yang baik untuk proses pengolahan semikonduktor
Jika Anda masih mengandalkan sistem sirkulasi udara panas untuk proses pengolahan semikonduktor yang kompleks, berarti Anda menghabiskan setengah hari hanya untuk menunggu. Beralih ke pemanas inframerah vakum bukan sekadar penggantian perangkat keras saja; ini merupakan cara yang sama sekali berbeda untuk memberikan energi kepada wafer tersebut.
Masalah dengan udara panas adalah waktu yang dibutuhkan untuk proses pemanasan.
Coba pikirkan bagaimana prosesnya berlangsung. Udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara tersebut memanaskan dinding kompartemen, dan baru setelah itu dinding kompartemen memanaskan permukaan wafer. Ini merupakan reaksi berantai yang lambat.
Dalam kondisi vakum, proses ini tidak diperlukan lagi. Kita menggunakan lampu inframerah untuk mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan wafer. Tidak ada perantara, sehingga tidak perlu menunggu udara menjadi panas. Waktu yang dibutuhkan untuk mencapai suhu target pun berkurang dari menit menjadi detik. Bagi seorang insinyur, ini merupakan hal yang sangat menguntungkan. Proses menunggu yang merepotkan pun hilang. Suhu target dapat dicapai hampir secara instan, sehingga lebih banyak wafer dapat diproses setiap jamnya.
Bagian yang sulit: Integrasi dalam kondisi vakum.
Membuat pemanas jenis ini untuk digunakan dalam kondisi vakum tidaklah mudah. Masalah pelepasan gas merupakan tantangan besar. Jika bahan yang digunakan tidak tepat, kontaminan akan masuk ke dalam kompartemen dan merusak segalanya.
Itulah mengapa kita harus menggunakan kuarsa berkualitas tinggi serta filamen khusus. Hal ini bertujuan untuk menjaga kebersihan lingkungan di dalam kompartemen. Namun, perlu hati-hati dalam menentukan kepadatan daya yang digunakan. Karena tidak ada udara yang dapat membawa panas keluar dari kotak lampu, suhu di dalamnya akan sangat tinggi. Jika digunakan lampu berdaya tinggi, sistem pendinginan air harus berfungsi dengan sempurna. Jika sistem pendinginan rusak, lampu akan cepat rusak.
Kecepatan versus Keakuratan
Inframerah memang cepat, tetapi efek pemanasannya bersifat terarah. Oven berudara panas seperti selimut hangat yang menyelimuti permukaan wafer dengan lapisan panas yang merata. Sedangkan inframerah lebih mirip sinar sorot. Jika geometri lampu tidak tepat atau jarak antar lampu salah, maka akan timbul titik-titik panas. Anda harus mengorbankan tingkat keseragaman pemanasan demi kecepatan yang lebih tinggi.
Namun, untuk kebanyakan proses pengolahan semikonduktor, pengorbanan ini layak dilakukan. Waktu yang dihemat per wafer sangat besar, sehingga masalah penyesuaian optik pun menjadi hal yang sepele.