در صفحه تولید، تغییر دما در حد ۲ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث اختلال در کل فرآیند تولید شود. لامپهای خشککن مبتنی بر امواج مادون قرمز، این خطر را از بین میبرند؛ زیرا گرما را دقیقاً در جایی که نیاز است، تأمین میکنند. خشک کردن ویفر، پختن فوتورزیست، بستهبندی مواد، و تمیز کردن، همگی نیازمند کنترل دقیق دما هستند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
این لامپها از منابع امواج مادون قرمز استفاده میکنند؛ به طوری که گرمای تولید شده به سرعت و به طور یکنواخت در سراسر منطقه مورد نظر توزیع شود. در نتیجه، دمای ویفر در کل منطقه پختن، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ این امر به کنترل دقیق عرض رشتههای تولیدی کمک میکند و از کاهش بازدهی تولید جلوگیری میکند.
این لامپها از همان ابتدا برای استفاده در اتاقهای پاک، کلاس ۱ تا ۱۰۰، طراحی شدهاند؛ یعنی از موادی با میزان گاز خروجی کم، ساختارهای کوارتزی/هالوژنی بسته، و سیستمهایی برای کنترل ذرات استفاده شده است. عدم تولید هیچ ذرهای، یک الزام طراحی است؛ این سیستم به صورت ۲۴/۷ کار میکند و عملکرد آن در طول هزاران ساعت، پایدار باقی میماند؛ بنابراین، توقفهای غیرمنتظره در فرآیند تولید رخ نمیدهد.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
در فرآیند لیتوگرافی، نیاز به پختن ملایمی وجود دارد تا چسبندگی و ویسکوزیته مواد تنظیم شود؛ سپس نیاز به پختن شدیدی وجود دارد تا حلالها از بین بروند، بدون اینکه به فوتورزیست آسیب برسد. در فرآیند بستهبندی، نیاز به خشک کردن سریع مواد است، بدون اینکه ساختار مواد تغییر کند. در فرآیندهای تمیز کردن و خشک کردن، رطوبت باقیمانده، چیزی است که نمیتوان آن را تحمل کرد.
لامپهای مبتنی بر امواج مادون قرمز، زمان فرآیند را کاهش میدهند؛ در حالی که کنترل دما نیز حفظ میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرما در لحظه مورد نیاز تأمین میشود، نه از طریق پلاتهای گرمی. همچنین، تکرارپذیری این لامپها، باعث میشود که کارهای تکراری و مواد اضافی کمتر تولید شوند.
واقعیتهایی که باید در نظر بگیرید:
فرآیند خشک کردن با لامپهای مبتنی بر امواج مادون قرمز، نیازمند دید مستقیم است؛ هندسه سطح، بازتاب و جذب نور، همگی بر میزان انرژی جذب شده تأثیر میگذارند؛ بنابراین، باید توان لامپها و پروفایل طیفی آنها را بر اساس نوع فیلم و سطح مورد نظر، تنظیم کرد. انتظار داشته باشید که اندازه لامپها نسبت به پلاتهای گرمی، کمی بزرگتر باشد؛ همچنین، باید برای اتصالات الکتریکی و حرارتی مناسب، برنامهریزی کرد.
وقتی که سیستم مناسب شد، پنجره فرآیند بسیار محدود خواهد بود؛ و این همان چیزی است که مورد نیاز است.