در فرآیند تولید، حرارتدهی به فوتورزیست، یک مرحله ضروری است که نمیتوان آن را نادیده گرفت. اختلاف دمای ۲ درجه سانتیگراد در فرآیند حرارتدهی، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود؛ در چنین شرایطی، فرآیند تولید متوقف خواهد شد. ما این پوشش کوارتزی را برای لامپهای مادون قرمز استفاده شده در فرآیندهای تولید ساختهایم تا پروفایل حرارتی در هر بار استفاده، ثابت بماند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
این پوشش برای انتقال امواج مادون قرمز کوتاهامواج ساخته شده است؛ بنابراین واکنش سریعی دارد و کنترل دقیقی بر دما اعمال میکند. این پوشش، یکنواختی دما روی سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ یعنی هر لایه فوتورزیست، یک دمای یکسان را تجربه میکند. سازگاری این پوشش با محیطهای تمیز نیز در طراحی آن لحاظ شده است؛ مواد و سطح این پوشش، تولید ذرات را به صفر میرسانند؛ بنابراین میتوانید در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز از آن استفاده کنید، بدون اینکه عمر لامپها کاهش یابد. این پوشش، پروفایلهای حرارتی قابل تکرار، بازتابپذیری یکنواخت و خروجی پایداری را فراهم میکند؛ خروجیای که میتواند هزاران ساعت کار کند.
چرا این پوشش در فرآیند لیتوگرافی مهم است؟
در فرآیند لیتوگرافی، دما، عرض خطوط، چسبندگی و تراکم نقصها را تعیین میکند. این پوشش، پروفایل حرارتی را ثابت نگه میدارد، باعث کاهش مواد بیفایده میشود و زمان لازم برای تأیید کیفیت را کاهش میدهد. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا سیستم به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را در محدوده مشخصی نگه میدارد. این پوشش، برای کار ۲۴/۷ مناسب است؛ بنابراین نیاز به تعویض لامپها کمتر میشود، هشدارها کاهش مییابد و میتوانید برنامههای تعمیراتی مناسبی داشته باشید.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شوند؟
برای نصب این پوشش، نیاز به تنظیم دقیق موقعیت لامپها و استفاده از کانکتورهای مناسب وجود دارد؛ در غیر این صورت، نقاط گرم ایجاد شده و عمر لامپها کاهش مییابد. قبل از نصب، باید هندسه محفظه و ولتاژ آن را بررسی کنید. همچنین، باید از روشهای مناسب برای جلوگیری از آسیبهای ریز به پوشش استفاده کنید. بررسیهای دورهای نیز باید مطابق با برنامههای تعمیرات پیشگیرانه انجام شود.