Sauber halten: Das Geheimnis hinter intelligenten Heizsensoren
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, reicht es nicht aus, einfach nur „nahe genug“ zu arbeiten. Schon ein winziger, unsichtbarer Staubkorn kann dazu führen, dass eine ganze Charge an Sensoren unbrauchbar wird. Das ist ein Albtraum.
Deshalb nutzen wir nicht einfach nur herkömmliche Materialien. Für unsere Infrarotlampen verwenden wir hochreines synthetisches Quarz. Warum? Weil dieses Material verhindert, dass Gasstoffe oder Partikel freigesetzt werden – noch bevor sie überhaupt entstehen können.
Das Problem mit dem herkömmlichen Quarz
Herkömmliches Quarz ist für die meisten Anwendungen geeignet – doch unter starken thermischen Belastungen kann es beginnen, sich aufzulösen. Es geben dabei kleine Teilchen ab, die in die Luft gelangen. Das ist nicht ideal, wenn man versucht, die Produktionslinie sauber zu halten.
Wir verwenden daher einen speziellen Quarztyp, der auch bei extrem hohen Temperaturen stabil bleibt. Er bleibt fest und sauber – man muss sich keine Sorgen machen, dass die Heizelemente zu einer Quelle der Kontamination werden.
Umgang mit Wärme und Schmutz
Es geht nicht nur um das Material, sondern auch um die Oberflächenbeschaffenheit. Wir polieren die Rohre, damit sie porös sind. Wenn die Oberfläche glatt ist, können sich keine Schmutzpartikel darauf ansammeln. Dadurch bleibt weniger Schmutz übrig, der auf die Wafer gelangen könnte.
Außerdem sind diese Lampen für Kurzwellen-Infrarotstrahlung konzipiert. Das ist ein großer Vorteil – denn Kurzwellenenergie dringt schneller in die Verpackungsmaterialien ein. Die Bauteile verbringen weniger Zeit in der Heizzone – dadurch wird die Gefahr verringert, dass die Umgebung verschmutzt wird. Es ist schneller und sicherer.
Die Herausforderungen bei der Installation
Man kann diese Lampen nicht einfach in irgendeine Halterung stecken. Hochreines Quarz ist etwas brüchiger als das industrielle Glas, an das man gewöhnt sein könnte. Wenn Metall direkt auf Glas trifft, kann das zu Rissen führen. Wir empfehlen daher immer die Verwendung von PTFE- oder Hochtemperatursilikon-Dämpfern. Ein wenig Polsterung hilft schon viel.
Achtung auch auf die Wärme! Diese Lampen erzeugen sehr hohe Temperaturen. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann die Infrarotstrahlung die Kabel beschädigen oder die Gehäuse der Sensoren überhitzen. Überprüfen Sie daher unbedingt die Isolierung sowie die Kühlventilatoren. Man möchte schließlich nicht, dass plötzliche Temperaturanstiege dazu führen, dass im Laufe der Arbeitszeit ein Alarm ausgelöst wird. Das ist wirklich kein Problem, das man haben möchte.