Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Wie man die Erwärmung der Wafer richtig gestaltet
In Halbleiterfabriken ist der Energieverbrauch nicht nur ein Budgetproblem – es handelt sich dabei auch um einen Designfehler. Wenn man eine Wafer erwärmt, möchte man nicht einfach nur „mehr Wärme“. Vielmehr soll diese Energie tatsächlich auf der Oberfläche der Wafer ankommen.
Deshalb nutzen wir reflektierende Oberflächen aus Gold. Dadurch wird verhindert, dass die Infrarotstrahlung in das Gehäuse der Maschine gelangt und dort verschwindet.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit poliertem Aluminium oder Edelstahl. Das Problem: Dabei entweicht viel zu viel Energie.
Gold hingegen ist äußerst effektiv bei der Reflexion von Infrarotstrahlung. Anstatt dass die Wärme überallhin streut, lenkt die Goldbeschichtung die Photonen wieder zurück zur Wafer. Dadurch entsteht ein viel stärkerer Wärmefluss – ohne dass man die Spannung erhöhen muss und das System belastet wird.
Umgang mit der Wärme
Das Beste daran: Da die Reflektoren so effizient sind, kann man die Lampen mit niedrigererer Leistung betreiben und dennoch die gewünschte Temperatur erreichen.
Die Kühlventilatoren müssen kaum arbeiten. Zudem halten die Glühfäden länger, da sie nicht bis an ihre Grenzen gebracht werden.
Aber man muss vorsichtig sein, wenn es um die Ausrichtung geht. Da die Energie so konzentriert ist, kann bereits ein Fehler von ein paar Millimetern dazu führen, dass es an einer Stelle besonders heiß wird. Man sollte außerdem die PID-Steuergeräte überprüfen. Diese Reflektoren erzeugen sehr schnell Wärme – daher müssen die Einstellungen entsprechend angepasst werden.
Unterhaltung
Wir haben diese Reflektoren so konstruiert, dass sie als Ersatz für die vorhandenen Reflektoren verwendet werden können. Man kann sie einfach in die bestehende IR-Anlage einsetzen, ohne etwas am Stromkreis oder an den Kabeln ändern zu müssen. Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch.
Hinweis zur Reinigung:
Gold ist weich. Wenn die Techniker abrasive Reinigungsmittel verwenden, werden die Beschichtungen beschädigt – dadurch sinkt die Effizienz. Lassen Sie das nicht passieren. Verwenden Sie stattdessen ein weiches Tuch sowie Isopropylalkohol. Halten Sie die Oberfläche sauber – denn sobald Staub auf die Goldoberfläche gelangt, blockiert dieser die Strahlung, und man ist wieder am Anfang.