Warum Vakuum-Infrarot-Heizung für bleifreie Standards sinnvoll ist
Die Halbleiterindustrie strebt nach „grünen“ und bleifreien Trocknungsverfahren. Lange Zeit wurden konventionelle Öfen verwendet – im Grunde handelt es sich dabei um riesige Behälter, die eine Menge Luft erhitzen. Doch das ist Energieverschwendung – und außerdem ein Risiko. Man hofft einfach, dass keine Partikel aus der Luft auf die Wafer gelangen.
Deshalb haben wir auf vakuumkompatible Infrarot-Heizgeräte umgestellt. Das löst das Problem einfach.
Wie die Physik tatsächlich funktioniert
Im Vakuum kann man die Wärme nicht mit Luft übertragen – es gibt schließlich keine Luft. Deshalb setzen wir vollständig auf Strahlung. Infrarot-Heizgeräte senden elektromagnetische Wellen aus, die direkt durch das Material hindurchgehen und dieses erwärmen. Keine zirkulierenden Gase, keine Probleme.
Da wir das Produkt direkt erwärmen statt den gesamten Raum, verschwenden wir keine Energie. Die Erwärmung erfolgt sehr schnell. Deshalb betrachten viele Menschen Infrarot-Heizungen als ideal zur Energieeinsparung beim Trocknen.
Umgang mit bleifreien Materialien
Wenn Sie schon einmal mit bleifreien Lötstoffen oder Klebern gearbeitet haben, wissen Sie, wie anspruchsvoll diese sind. Sie benötigen in der Regel höhere Temperaturen sowie ein präziseres Temperaturprofil als herkömmliche Materialien.
Wir bauen unsere Heizgeräte so, dass sie genau diese Anforderungen erfüllen, ohne die Grenzwerte zu überschreiten. Zudem müssen Sie sich bei Infrarot-Heizungen keine Sorgen um Verbrennungsprodukte oder schädliche VOCs machen. Es ist sauber – man kann beruhigt atmen, da keine chemischen Rückstände die Reinraumbedingungen beeinträchtigen.
Die schwierigen Aspekte (Technische Herausforderungen)
Es ist jedoch nicht alles perfekt. Es gibt einige Herausforderungen. Zunächst verbrauchen hochintensive Infrarot-Heizgeräte viel Energie. Wenn man versucht, die Prozesse zu beschleunigen, muss das Steuersystem sehr präzise sein. Andernfalls besteht die Gefahr, dass die Wafer durch zu viel Wärme beschädigt werden.
Außerdem gibt es noch die Probleme mit den Dichtungen. Die Dichtungen um die Anschlüsse der Heizgeräte sind oft die ersten Stellen, die versagen. Man muss sicherstellen, dass die Vakuumdichtungen mit der Ausdehnung von Quarz- oder Keramikrohren bei Hitze umgehen können. Wenn die Dichtigkeit versagt, sinkt das Vakuum – und dadurch geht auch die Qualität des Produkts verloren.