
Proč je ohřev pomocí infračerveného záření v vakuumu jediným rozumným řešením pro bezolovnaté standardy
Svět polovodičů usiluje o „zelené“ a bezolovnaté procesy sušení. Dlouho jsme používali konvekční pece – v podstatě obrovské krabice, které zahřívají velké množství vzduchu. To je však plýtvání energií, a upřímně řečeno, jde o hazard. Jen se modlíte, aby se částice ve vzduchu neusadily na vašich waferech.
Proto jsme přešli na infračervené ohřívače kompatibilní s vakuumem. Ty tento problém prostě vyřešují.
Jak to vlastně funguje
Vakuum totiž neumožňuje pohyb tepla pomocí vzduchu – není tam žádný vzduch. Proto spoléháme celý proces na záření.
Infračervené ohřívače vysílají elektromagnetické vlny, které proniknou přímo skrz materiál a zahřejí ho. Žádné cirkulující plyny, žádné komplikace.
Jelikož působíme přímo na produkt, nikoli na celou komoru, neplýtváme energií. Teplota se rychle zvyšuje – opravdu rychle. Proto většina lidí nyní považuje infračervené ohřívače za ideální řešení pro úsporu energie během sušení.
Práce s bezolovnatými materiály
Pokud jste pracovali s bezolovnatými lepidly nebo spojovacími materiály, víte, že jsou velmi náročné. Obvykle vyžadují vyšší teploty a mnohem přesnější termické podmínky než starší materiály.
Naše ohřívače jsou navrženy tak, aby dosáhly právě těchto podmínek, aniž by došlo k přehřátí. Navíc, protože jde o infračervené záření, nemusíte se zabývat spalovacími plyny nebo škodlivými látkami vznikajícími při ohřevu. Je to čisté řešení – můžete si být jisti, že chemické zbytky nezkazí vaši čistou prostředí.
Potíže spojené s použitím infračervených ohřívačů
Není to však jen zázrak. Existuje několik věcí, které mohou představovat problém.
Zaprvé, infračervené ohřívače s vysokou intenzitou spotřebují hodně energie. Pokud použijete silnější ohřívače, abyste urychlili proces, váš řídicí systém musí být velmi přesný. Potřebujete přesnou regulaci PID – jinak hrozí, že wafery budou přehřáté.
A potom jsou tu těsnění. Vidíme to pořád – těsnění kolem vstupů do ohřívačů jsou obvykle první, co selže.
Musíte se ujistit, že vaše těsnění dokážou odolat roztažnosti křemíkových nebo keramických trubic při zahřátí. Pokud dojde k úniku vzduchu, vakuum klesne a celý proces selže.