Přestaňte čekat na topiče: Proč jsou vakuumové infračervené topiče výhodné pro zpracování polovodičů
Pokud stále spoléháte na cirkulaci horkého vzduchu při hlubokém zpracování polovodičů, v podstatě trávíte polovinu dne čekáním. Přechod na vakuumové infračervené topiče není jen výměna hardwaru – jedná se o zcela nový způsob dodávání energie do polovodičových desek.
Problém s horkým vzduchem je zpoždění.
Představte si, jak to funguje: Zahříváte plyn, plyn zahřívá stěny komory a teprve potom tyto stěny zahřívají samotnou desku. Je to pomalá řetězová reakce.
V vakuumu můžeme celý tento proces vynechat. Používáme infračervené lampy, které vysílají elektromagnetické záření přímo do povrchu desky. Žádní prostředníci. Žádné čekání, dokud se vzduch neohřeje.
Doba potřebná k dosažení požadované teploty se zkrátí z minut na sekundy. Pro inženýry je to ta nejlepší stránka. Ta otravná „fáze čekání“ během termálního cyklu prostě zmizí. Dosáhnete požadované teploty téměř okamžitě, což znamená, že každou hodinu můžete zpracovat mnohem více desek.
Problém spočívá v integraci do vakua.
Výroba takových topičů pro vakuum není tak jednoduchá, jako jen vypnutí ventilátoru. Vydechování plynů je noční můra. Pokud vaše materiály nejsou správné, do komory se dostanou kontaminanty a všechno se pokazí.
Proto používáme kvartz vysoké čistoty a velmi specifické vlákna. To udržuje prostředí čisté.
Ale musíte být opatrní s hustotou energie. Jelikož tam není vzduch, který by odnesl teplo od lampy, věci se velmi zahřívají. ** opravdu velmi.**
Pokud použijete lampy s vysokým výkonem, váš systém chlazení vodou musí být perfektní. Pokud dojde k poruše tohoto systému, lampa se okamžitě spálí.
Rychlost versus přesnost
Infračervené topiče nejsou žádná magie. Jsou rychlé, ale mají určitý směr působení.
Horkovzdušná pec je jako teplá deka – obaluje desku rovnoměrnou vrstvou tepla. Infračervené topiče jsou spíše jako světlomety. Pokud je geometrie lampy špatná nebo rozestupy mezi nimi nejsou správné, vzniknou „horká místa“. Vyměňujete tedy tu „snadnou“ rovnoměrnost za rychlost bez jakýchkoli omezení.
Ale pro většinu procesů v oblasti polovodičů je to výhodná výměna. Množství času ušetřeného na každé desce činí starosti spojené s optickou zarovnáváním malou cenou za to.