ফ্যাব ফ্লোরে, SRD সাইকেলের সময়ই উৎপাদনের গুণমান হ্রাস পেতে পারে। এমনকি সামান্য ত্রুটিও পণ্যের গুণমানকে ক্ষতিগ্রস্ত করে; ফলে ভালো মানের উপাদানগুলো অকেজো হয়ে যায়। আমরা এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্য SRD ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ? এতে কোয়ার্টজ অপটিক্স ব্যবহার করে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রেডিয়েটর ব্যবহৃত হয়; ফলে শক্তি সরাসরি রিনস ও ড্রাই প্রক্রিয়ায় প্রবেশ করে। চেম্বারের মধ্যে তাপীয় সামঞ্জস্য ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে; ফলে প্রতিটি ওয়েফারই সমান তাপ পায়। সেটপয়েন্ট পরিবর্তন হতে ২০০ মিলিসেকেন্ডেরও কম সময় লাগে; ফলে নিয়ন্ত্রণ সহজ হয়।
এটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত সব ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহারযোগ্য। এর হাউজিং সিলড থাকে, আর রেডিয়েটরের পথটিও এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কোনো কণা বের না হয়। ৫,০০০ ঘন্টারও বেশি সময় ধরে এর আউটপুট স্থিতিশীল থাকে; তীব্রতার পরিবর্তন ৫%-এর কম হয়।
কেন SRD-এ এটি কার্যকর? SRD-এ ধারাবাহিক ড্রাইং প্রক্রিয়া অব্যাহত রাখা জরুরি; কিন্তু ফটোরেসিস্টকে ক্ষতিগ্রস্ত করা বা প্যাটার্নগুলোকে নষ্ট করা উচিত নয়। ল্যাম্পটির দ্রুত র্যাম্পিং ক্ষমতার কারণে চেম্বারের অভ্যন্তরীণ তাপমাত্রা নির্ধারিত মানের মধ্যে থাকে; ফলে সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়ার পরও রেসিস্টের গুণমান অক্ষুণ্ণ থাকে।
এর ফলে ধারাবাহিক ড্রাইং প্রক্রিয়া সম্ভব হয়; ত্রুটির হার কমে যায়, আর পুনরায় কাজ করার প্রয়োজনও কমে যায়। পাওয়ার ব্যবহারও কমে যায়—কারণ রেডিয়েটরগুলো দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছায় এবং সেখানেই থাকে; ফলে অপ্রয়োজনীয় তাপ চেম্বারে প্রবেশ করে না। ইউপাইমটাও উন্নত হয়—কারণ ড্রাইভারটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, আর ল্যাম্পটির কাঠামোটিও দীর্ঘস্থায়ী ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
কী কারণে এটি কার্যকর? ল্যাম্পটি স্ট্যান্ডার্ড SRD ফিটপ্রিন্টে ফিট হয়; কিন্তু ইন্টিগ্রেশনটি আপনার টুলের জ্যামিতি, বায়ুপ্রবাহ এবং চেম্বারের দেয়ালগুলোর ইমিসিভিটির সাথে মেলে কিনা তা নিশ্চিত করতে হবে। মাউন্টিং ইন্টারফেস ও চিলার লুপের থার্মাল লোড ভালোভাবে পরীক্ষা করুন; যদি কুলিং ঠিকমতো না হয়, তাহলে তাপীয় সামঞ্জস্য নষ্ট হয়ে যাবে।
আপনার ওয়েফার স্ট্যাক ও লাইন কন্ডিশনের সাথে সামঞ্জস্য রাখার জন্য অবশ্যই সংক্ষিপ্ত টেস্ট রান করুন।